확산 펌프의 목적은 끓는 유체의 증기를 사용하여 챔버에서 공기 분자를 포집하고 제거함으로써 다양한 산업 응용 분야에서 높은 진공 수준을 달성하고 유지하는 것입니다. 이는 기계식 펌프만으로는 원하는 저압 수준을 달성할 수 없을 때 특히 유용합니다.
답변 요약:
확산 펌프는 일반적으로 기계식 펌프의 성능을 뛰어넘는 10^-2 토르 이하의 고진공 환경에서 작동하도록 설계되었습니다. 이 펌프는 끓는 유체의 증기를 활용하여 공기 분자를 포획한 다음 유체가 냉각됨에 따라 방출되어 시스템에서 제거함으로써 이를 달성합니다. 이 프로세스를 통해 확산 펌프는 움직이는 부품 없이도 고진공을 유지할 수 있으므로 많은 산업 분야에서 안정적이고 내구성 있는 옵션이 될 수 있습니다.
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자세한 설명:
- 작동 원리:
- 피스톤, 핀 또는 로브를 사용하여 챔버에서 공기를 물리적으로 밀어내는 기계식 펌프와 달리 확산 펌프는 유체 유입 원리에 따라 작동합니다. 이 펌프는 끓는 유체(흔히 오일이라고도 함)의 증기를 사용하여 공기 분자를 포집합니다.
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기화된 유체는 챔버 내의 가스보다 밀도가 높기 때문에 가스 분자를 배기 쪽으로 효과적으로 쓸어내려 응축 및 포집합니다. 이 과정은 중력의 영향을 받는 증기의 하향 흐름의 도움을 받아 가스 분자를 펌프의 바닥으로 향하게 합니다.
- 진공 시스템에서의 역할:
- 진공 시스템에서 확산 펌프는 일반적으로 기계식 펌프, 때로는 부스터 펌프 다음으로 2단계 또는 3단계로 사용됩니다. 기계식 펌프는 특정 압력(약 20토르)까지만 효과적이며, 그 이후에는 효율이 떨어집니다.
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확산 펌프는 압력이 10~1미크론에 도달하면 활성화되어 시스템에서 10^-10토르까지 높은 진공 수준을 달성할 수 있습니다.
- 다른 펌프와의 통합:
- 확산 펌프는 독립적으로 작동하지 않으며, 포어 라인의 압력을 유지하고 확산 펌프의 오일이 용기로 빠져나가는 것을 방지하기 위해 홀딩 펌프가 필요합니다.
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작동 중에는 홀딩 펌프가 분리되고 기계식 펌프가 확산 펌프의 배압 펌프 역할을 하여 시스템이 필요한 진공 수준을 유지하도록 합니다.
- 애플리케이션:
확산 펌프는 전자빔 현미경, 진공 증착, 코팅 및 진공로와 같이 매우 낮은 압력이 필요한 응용 분야에 필수적입니다. 움직이는 부품 없이 높은 진공 수준을 달성하고 유지할 수 있기 때문에 이러한 산업에서 선호되는 선택입니다.수정 및 검토:
