확산 펌프의 목적은 다양한 산업 응용 분야에서 높은 진공 수준을 달성하고 유지하는 것입니다.
이는 끓는 유체의 증기를 사용하여 챔버에서 공기 분자를 포집하고 제거함으로써 이루어집니다.
이 방법은 기계식 펌프만으로는 원하는 저압 레벨을 달성할 수 없을 때 특히 유용합니다.
4가지 핵심 포인트 설명
1. 작동 원리
피스톤, 핀 또는 로브를 사용하여 챔버에서 공기를 물리적으로 밀어내는 기계식 펌프와 달리 확산 펌프는 유체 유입 원리에 따라 작동합니다.
이 펌프는 끓는 유체(흔히 오일이라고도 함)의 증기를 사용하여 공기 분자를 포집합니다.
기화된 유체는 챔버 내의 가스보다 밀도가 높기 때문에 가스 분자를 배기 쪽으로 효과적으로 쓸어내려 응축 및 포집합니다.
이 과정은 중력의 영향을 받는 증기의 하향 흐름으로 인해 가스 분자를 펌프의 바닥으로 향하게 하는 데 도움이 됩니다.
2. 진공 시스템에서의 역할
진공 시스템에서 확산 펌프는 일반적으로 기계식 펌프와 때로는 부스터 펌프 다음으로 2단계 또는 3단계로 사용됩니다.
기계식 펌프는 특정 압력(약 20토르)까지만 효과적이며, 그 이후에는 효율이 떨어집니다.
확산 펌프는 압력이 10~1미크론에 도달하면 활성화되어 시스템에서 10^-10토르까지 높은 진공 수준을 달성할 수 있습니다.
3. 다른 펌프와의 통합
확산 펌프는 독립적으로 작동하지 않으며, 포어 라인의 압력을 유지하고 확산 펌프의 오일이 용기로 빠져나가는 것을 방지하기 위해 홀딩 펌프가 필요합니다.
작동 중에는 홀딩 펌프가 분리되고 기계식 펌프가 확산 펌프의 배압 펌프 역할을 하여 시스템이 필요한 진공 수준을 유지하도록 합니다.
4. 응용 분야
확산 펌프는 전자빔 현미경, 진공 증착, 코팅 및 진공로와 같이 매우 낮은 압력을 필요로 하는 응용 분야에 필수적입니다.
움직이는 부품 없이 높은 진공 수준을 달성하고 유지할 수 있는 능력 덕분에 이러한 산업에서 선호되는 선택입니다.
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