확산 펌프의 진공 수준은 10^-6 토르 범위의 최종 진공에 도달할 수 있습니다.
이러한 높은 진공 수준은 오일 확산 펌프를 사용하여 달성할 수 있습니다.
이 유형의 펌프는 움직이는 부품 없이 작동하며 오일의 기화 및 응축을 활용하여 가스 분자를 가두어 추출합니다.
그 결과 고진공 환경을 조성합니다.
확산 펌프의 진공 수준은 얼마입니까? 5가지 주요 인사이트
1. 작동 원리
확산 펌프는 오일의 기화를 기반으로 작동합니다.
이 오일은 떨어지면서 응축됩니다.
이 과정은 가스 분자를 가두어 추출하여 고진공을 만드는 데 도움이 됩니다.
확산 펌프에는 움직이는 부품이 없기 때문에 내구성과 신뢰성이 향상됩니다.
따라서 전자빔 현미경, 진공 증착, 코팅 및 진공로와 같은 다양한 산업 분야에 적합합니다.
2. 진공 레벨
확산 펌프는 10^-2 ~ 10^-10 토르 범위의 고진공을 생성할 수 있습니다.
이 범위는 기계식 펌프만으로는 달성할 수 있는 것보다 훨씬 낮습니다.
기계식 펌프는 일반적으로 약 10^-2 Pa의 압력까지 작동합니다.
기계식 펌프가 20 Torr 이하의 압력에 도달하면 효율이 떨어집니다.
따라서 원하는 진공 수준을 달성하려면 부스터 펌프와 최종적으로 확산 펌프를 사용해야 합니다.
3. 시스템 구성
확산 펌프는 일반적으로 다단계 진공 시스템의 일부입니다.
이 시스템에는 기계식 펌프와 홀딩 펌프가 포함됩니다.
홀딩 펌프는 기계식 펌프와 확산 펌프 사이의 크로스오버 밸브가 활성화될 때 확산 펌프의 오일이 용기로 빠져나가지 않도록 합니다.
이 설정은 확산 펌프가 달성하는 진공 레벨의 무결성을 유지하는 데 매우 중요합니다.
4. 용광로에서의 응용
진공 용광로와 같은 산업 응용 분야에서 확산 펌프를 사용하면 진공 수준을 크게 향상시킬 수 있습니다.
예를 들어, 확산 펌프가 장착된 퍼니스는 10^-5 토르 범위에서 작동 진공을 달성할 수 있습니다.
이는 확산 펌프가 없는 50~60미크론 Hg와 비교됩니다.
이러한 높은 진공 수준은 대기 오염 물질이 없는 매우 깨끗하고 통제된 환경이 필요한 공정에 필수적입니다.
5. 궁극의 진공
확산 펌프 퍼니스의 궁극 진공은 일반적으로 10^-6 토르 범위입니다.
이는 기계식 펌프만으로는 달성할 수 있는 것보다 훨씬 낮은 수준입니다.
이 수준의 진공은 고정밀 산업 공정의 적절한 기능과 효율성을 보장하는 데 매우 중요합니다.
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