기술팀 · Kintek Solution

확산 펌프의 진공 수준은 10^-6 토르 범위의 최종 진공에 도달할 수 있습니다. 이 높은 진공 수준은 움직이는 부품 없이 작동하고 오일의 기화 및 응축을 활용하여 가스 분자를 가두어 추출함으로써 고진공 환경을 조성하는 오일 확산 펌프를 사용하여 달성할 수 있습니다.

설명:

1. 작동 원리: 확산 펌프는 오일의 기화를 기반으로 작동하며, 오일이 떨어지면서 응축됩니다. 이 과정은 가스 분자를 가두어 추출하여 고진공을 만드는 데 도움이 됩니다. 확산 펌프에는 움직이는 부품이 없기 때문에 내구성과 신뢰성이 향상되어 전자빔 현미경, 진공 증착, 코팅 및 진공로와 같은 다양한 산업 분야에 적합합니다.

2. 진공 레벨: 확산 펌프는 10^-2 ~ 10^-10 토르 범위의 고진공을 생성할 수 있습니다. 이 범위는 일반적으로 약 10^-2 Pa의 압력까지 작동하는 기계식 펌프만으로는 달성할 수 있는 것보다 훨씬 낮습니다. 기계식 펌프가 20 Torr 이하의 압력에 도달하면 효율이 떨어지기 때문에 원하는 진공 수준을 달성하려면 부스터 펌프와 결국 확산 펌프를 사용해야 합니다.

3. 시스템 구성: 확산 펌프는 일반적으로 기계식 펌프와 홀딩 펌프를 포함하는 다단계 진공 시스템의 일부입니다. 홀딩 펌프는 기계식 펌프와 확산 펌프 사이의 크로스오버 밸브가 활성화될 때 확산 펌프의 오일이 용기로 빠져나가지 않도록 합니다. 이 설정은 확산 펌프가 달성하는 진공 레벨의 무결성을 유지하는 데 매우 중요합니다.

4. 용광로에서의 적용: 진공 용광로와 같은 산업용 애플리케이션에서 확산 펌프를 사용하면 진공 수준을 크게 향상시킬 수 있습니다. 예를 들어, 확산 펌프가 장착된 퍼니스는 확산 펌프가 없는 50-60 마이크론 Hg에 비해 10^-5 토르 범위에서 작동 진공을 달성할 수 있습니다. 이러한 높은 진공 수준은 대기 오염 물질이 없는 매우 깨끗하고 통제된 환경이 필요한 공정에 필수적입니다.

5. 궁극의 진공: 확산 펌프 용광로의 궁극 진공은 일반적으로 10^-6 토르 범위이며, 이는 기계식 펌프만으로는 달성할 수 있는 것보다 훨씬 낮은 수준입니다. 이 수준의 진공은 고정밀 산업 공정의 적절한 기능과 효율성을 보장하는 데 매우 중요합니다.

요약하면, 확산 펌프의 진공 수준은 일반적으로 10^-6 Torr 범위의 극도로 낮은 압력을 달성할 수 있다는 특징이 있으며, 이는 매우 깨끗하고 제어된 환경을 필요로 하는 고정밀 산업 응용 분야에 필수적입니다.

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