확산 펌프는 주로 10^-2 ~ 10^-10 토르의 높은 진공 수준을 필요로 하는 산업 응용 분야에서 사용됩니다. 이 펌프는 움직이는 부품이 없기 때문에 내구성과 신뢰성이 뛰어나다는 평가를 받습니다. 이 펌프는 끓는 유체의 증기를 사용하여 공기 분자를 포집한 다음 이동 및 냉각하여 공기를 방출하는 방식으로 작동합니다. 이 방식은 전자빔 현미경, 진공 증착, 코팅 및 진공로와 같은 응용 분야에 적합합니다.
자세한 설명:
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작동 원리: 확산 펌프는 피스톤이나 핀과 같은 기계 부품에 의존하여 공기를 이동시키지 않는다는 점에서 기계식 펌프와 다릅니다. 대신 증기를 생성하기 위해 끓인 유체(흔히 오일이라고도 함)를 사용합니다. 이 증기는 아래쪽으로 향하고 움직이면서 공기 분자를 포집합니다. 포집된 공기는 펌프의 다른 부분으로 이송되어 냉각되면서 공기 분자가 유체에서 분리됩니다. 이 과정은 중력과 증기의 하향 흐름이 결합하여 공기 분자를 펌프의 바닥 쪽으로 효과적으로 이동시킵니다.
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애플리케이션: 확산 펌프로 달성할 수 있는 높은 진공 수준은 다양한 산업 환경에서 필수적입니다. 예를 들어 전자빔 현미경 검사에서는 전자빔을 왜곡할 수 있는 전자와 공기 분자 간의 충돌을 방지하기 위해 고진공이 필요합니다. 마찬가지로 진공 증착 및 코팅에서도 고진공은 공기로 인한 오염 없이 재료가 균일하게 증착되도록 보장합니다. 진공로에서는 열처리 공정에서 산화를 방지하고 정밀한 온도 제어를 달성하기 위해 고진공 조건이 매우 중요합니다.
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유지보수 및 호환성: 확산 펌프의 유지보수에는 오일 레벨을 점검하고 히터가 작동하는지 확인하는 작업이 포함됩니다. 일반적으로 튜브형 요소, 크러시 플레이트, 클램핑 플레이트를 포함하는 가열 시스템의 설계는 올바르게 작동하기 위해 세심한 정렬이 필요합니다. 또한 확산 펌프는 진공을 생성하는 초기 단계에서 황삭 펌프(기계식 펌프 및 송풍기)와 함께 사용되는 경우가 많습니다. 이러한 황삭 펌프는 대기압에서 중간 수준까지 초기 펌프다운을 처리한 후 특정 응용 분야에 필요한 초고진공 수준을 달성하기 위해 디퓨전 펌프가 그 역할을 대신합니다.
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권장 제조업체: 본 문서에서는 고품질 장비와 업계에서 오랜 명성을 자랑하는 Varian에서 제조한 디퓨전 펌프를 사용할 것을 권장합니다. 미국산 펌프에 대한 이러한 선호는 중요한 산업 응용 분야에서 신뢰성과 성능의 중요성을 강조합니다.
요약하면, 확산 펌프는 고진공 조건이 필요한 산업에 필수적인 제품으로, 고유한 유체 유입 메커니즘을 활용하여 다양한 응용 분야에서 안정적이고 내구성 있는 성능을 제공합니다.
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