고진공을 달성하기 위해 일반적으로 터보 분자 펌프 또는 오일 확산 펌프가 주로 사용되며, 고진공 레벨을 위해 여러 펌프를 조합하여 사용합니다. 이러한 펌프는 매우 낮은 압력을 달성하는 데 특화되어 있으며 로터리 베인 펌프 또는 건식 스크롤 펌프와 같은 프리 펌프와 직렬로 사용되는 경우가 많습니다.
터보 분자 펌프:
터보분자 펌프는 일반적으로 10^-7 mbar 미만의 매우 높은 진공 수준에서 작동하도록 설계되었습니다. 회전 블레이드를 사용하여 가스 흐름 방향과 반대 방향으로 가스 분자에 운동량을 부여하여 시스템에서 가스를 효과적으로 펌핑하는 방식으로 작동합니다. 이 펌프는 가스를 제거하는 데 매우 효율적이며 반도체 제조, 과학 연구 및 우주 시뮬레이션 챔버와 같이 초고진공이 필요한 응용 분야에서 일반적으로 사용됩니다.오일 확산 펌프:
오일 확산 펌프는 고진공 응용 분야에 사용되는 또 다른 유형의 펌프입니다. 이 펌프는 챔버 벽에 고속으로 분사되는 유증기를 분사한 다음 응축하여 보일러로 되돌려 보내는 방식으로 작동합니다. 챔버의 가스 분자는 유증기 분사에 의해 배출구를 향해 추진되어 수집 및 제거됩니다. 이 펌프는 진공 수준을 10^-7 mbar까지 낮출 수 있으며 고진공이 필요한 과학 및 산업 응용 분야에서 자주 사용됩니다.
터보 분자 펌프와 오일 확산 펌프는 모두 효과적으로 작동하기 위해 흡입구에서 충분히 낮은 압력을 유지하기 위해 배압 펌프(예: 회전 날개 펌프)가 필요합니다. 배압 펌프는 거친 진공을 생성한 다음 고진공 펌프가 이를 더욱 정제하여 원하는 초저압을 달성합니다.
