고진공을 달성하려면 일반적으로 여러 가지 펌프를 조합해야 합니다.
고진공 수준을 위해 주로 터보 분자 펌프 또는 오일 확산 펌프를 선택하는 경우가 많습니다.
이러한 펌프는 매우 낮은 압력을 달성하도록 설계되었으며 일반적으로 프리펌프와 함께 사용됩니다.
로터리 베인 펌프 또는 건식 스크롤 펌프와 같은 프리 펌프는 고진공 펌프가 효과적으로 작동하는 데 필요한 초기 진공 조건을 조성하는 데 도움이 됩니다.
알아야 할 5가지 필수 사실
1. 터보 분자 펌프
터보분자 펌프는 일반적으로 10^-7 mbar 이하의 매우 높은 진공 수준에서 작동하도록 특별히 설계되었습니다.
회전하는 블레이드를 사용하여 가스 흐름 방향과 반대 방향으로 가스 분자에 운동량을 부여하는 방식으로 작동합니다.
이를 통해 가스를 시스템 밖으로 효과적으로 펌핑하여 가스를 제거하는 데 매우 효율적입니다.
터보 분자 펌프는 일반적으로 반도체 제조, 과학 연구 및 우주 시뮬레이션 챔버와 같이 초고진공이 필요한 응용 분야에서 사용됩니다.
2. 오일 확산 펌프
오일 확산 펌프는 고진공 응용 분야에 사용되는 또 다른 유형의 펌프입니다.
이 펌프는 챔버 벽에 고속으로 유증기를 분사하는 방식으로 작동합니다.
그러면 유증기는 응축되어 보일러로 되돌아가고, 챔버의 가스 분자는 배출구를 향해 추진되어 수집 및 제거됩니다.
이 펌프는 10^-7 mbar까지 진공 수준을 달성할 수 있으며 고진공이 필요한 과학 및 산업 응용 분야에서 자주 사용됩니다.
3. 배압 펌프
터보 분자 펌프와 오일 확산 펌프 모두 효과적으로 작동하려면 배압 펌프가 필요합니다.
로터리 베인 펌프와 같은 배압 펌프는 고진공 펌프의 입구에서 거친 진공을 생성합니다.
그런 다음 이 거친 진공은 고진공 펌프에 의해 더욱 정제되어 원하는 초저압을 달성합니다.
4. 펌프의 조합
고진공 응용 분야의 경우 터보 분자 펌프 또는 오일 확산 펌프를 배압 펌프와 함께 사용하는 것이 필수적입니다.
이 설정은 고진공 조건이 요구되는 다양한 과학 및 산업 공정에서 매우 중요합니다.
5. 응용 분야
고진공 설정은 반도체 제조, 과학 연구, 우주 시뮬레이션 챔버를 비롯한 많은 분야에서 필수적입니다.
이러한 설정은 가장 까다로운 응용 분야에서 정밀도와 신뢰성을 보장합니다.
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