진공 애플리케이션의 경우 선택하는 펌프 유형이 매우 중요합니다. 원하는 진공 수준과 공정의 특성 등 애플리케이션의 특정 요구 사항에 따라 달라집니다.
진공 펌프의 4가지 유형 설명: 어떤 것이 여러분의 애플리케이션에 적합할까요?
로터리 베인 펌프
로터리 베인 펌프는 진공로에서 널리 사용됩니다. 이 펌프는 약 5x10-2 mbar의 진공 수준을 달성할 수 있습니다. 이 펌프는 회전 및 고정 베인 세트를 사용하여 공기를 가두었다가 배출하여 진공을 생성하는 방식으로 작동합니다. 신뢰성이 높은 것으로 알려져 있으며 거친 진공 응용 분야에서 자주 사용됩니다.
루츠 펌프
기계식 부스터 펌프라고도 하는 루츠 펌프는 일반적으로 다른 진공 펌프와 함께 사용하여 성능을 향상시킵니다. 비교적 높은 압력에서 많은 양의 가스를 처리할 수 있어 많은 양의 가스를 빠르게 배출해야 하는 응용 분야에 적합합니다.
오일 확산 펌프
오일 확산 펌프는 일반적으로 10-5~10-7 mbar 범위의 매우 높은 진공 수준을 달성할 수 있습니다. 이 펌프는 챔버 벽에 고속 유증기 분사를 분사하여 작동하며, 이 분사가 응축되어 보일러로 되돌아오는 동안 가스 분자는 분사에 의해 제거됩니다. 이 펌프는 일반적으로 고진공 응용 분야에서 사용됩니다.
터보 분자 펌프
터보분자 펌프는 초고진공 수준(보통 10-9 mbar 미만)을 달성하도록 설계되었습니다. 빠르게 회전하는 일련의 블레이드를 사용하여 가스 분자에 운동량을 부여하여 진공 챔버 밖으로 효과적으로 "던져버리는" 방식으로 작동합니다. 이 펌프는 반도체 제조와 같이 매우 높은 진공 수준이 필요한 애플리케이션에 이상적입니다.
진공 펌프를 선택할 때는 필요한 진공 수준, 유량 및 애플리케이션의 특정 요구 사항과 같은 요소를 고려해야 합니다. 예를 들어, 응용 분야에 거친 진공(1mbar 이상)이 필요한 경우 오일 프리 작동과 낮은 유지보수 요구 사항으로 인해 다이어프램 펌프가 적합할 수 있습니다. 반대로 고진공 또는 초고진공 응용 분야에는 오일 확산 또는 터보 분자 펌프와 같은 펌프가 더 적합할 수 있습니다.
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