스퍼터 코팅은 주로 주사 전자 현미경(SEM)에서 시료 준비에 사용되어 전도도를 높이고, 전기 충전 효과를 줄이며, 전자빔 손상으로부터 시료를 보호합니다. 이 기술은 샘플 표면에 금이나 백금과 같은 얇은 금속 층을 증착하는 것입니다.
전도도 향상: SEM에서 샘플은 전하를 방지하고 정확한 이미징을 보장하기 위해 전기 전도성이 있어야 합니다. 스퍼터 코팅은 전기를 전도하는 얇은 금속막을 적용하여 이미지를 왜곡하고 샘플을 손상시킬 수 있는 정전기장의 축적을 방지합니다. 또한 금속층은 SEM에서 이미징에 중요한 이차 전자의 방출을 개선합니다.
전기 충전 효과 감소: SEM에서 비전도성 샘플은 전자 빔에 노출될 때 전하를 축적하여 이미지 왜곡과 샘플 손상을 초래할 수 있습니다. 전도성 금속으로 스퍼터 코팅하면 이러한 전하를 중화하여 샘플의 무결성과 SEM 이미지의 품질을 유지합니다.
샘플 보호: SEM의 전자 빔은 특히 열에 민감한 샘플에 열 손상을 일으킬 수 있습니다. 스퍼터 코팅은 샘플이 전자빔에 직접 노출되지 않도록 보호막을 형성하여 열 손상을 줄여줍니다. 이는 생물학적 시료에 특히 유용하며, 큰 변형이나 손상 없이 코팅할 수 있습니다.
복잡한 표면에 적용: 스퍼터 코팅은 복잡한 3차원 표면에도 효과적입니다. 이 기능은 샘플의 모양이 복잡할 수 있는 SEM에서 매우 중요합니다. 이 기술은 곤충 날개나 식물 조직과 같은 섬세한 구조물에도 물리적 또는 열적 손상 없이 균일한 코팅을 보장합니다.
요약하면, 스퍼터 코팅은 샘플의 전기적 특성을 개선할 뿐만 아니라 분석 중 잠재적인 손상으로부터 샘플을 보호하여 고품질의 정확한 이미징을 보장하므로 SEM 시편 준비에 필수적입니다.
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