- 텅스텐 증발 보트: 텅스텐 증발 보트는 융점이 높고 열 전도성이 우수하여 널리 사용됩니다. 최대 섭씨 3,400도(화씨 6,152도)의 온도를 견딜 수 있으며 금속, 세라믹, 유기 화합물을 포함한 다양한 재료를 증발시키는 데 적합합니다. 텅스텐 보트는 내구성과 안정성으로 잘 알려져 있어 고온 증발 공정에 이상적입니다.
- 몰리브덴 증발 보트: 몰리브덴 증발 보트는 진공 증발 응용 분야에서 널리 사용되는 또 다른 선택입니다. 이 소재는 녹는점이 섭씨 2,620도(화씨 4,748도)에 달할 정도로 높고 열 전도성도 좋습니다. 몰리브덴 보트는 금속, 산화물, 반도체 등 다양한 재료를 증발시키는 데 사용할 수 있습니다. 이 제품은 산화에 대한 저항성과 고온 안정성으로 잘 알려져 있습니다.
- 탄탈륨 증발 보트:탄탈륨 증발 보트는 부식에 대한 저항력이 뛰어나고 뛰어난 열 안정성을 제공합니다. 이 제품은 최대 섭씨 2,900도(화씨 5,252도)의 온도를 견딜 수 있으며 반응성 또는 부식성 물질과 관련된 증발 공정에 적합합니다. 탄탈륨 보트는 우수한 내화학성이 요구되는 박막 증착과 같은 응용 분야에 일반적으로 사용됩니다.
증발 보트
품목 번호 : KME01
품목 번호 : KME01-2
품목 번호 : LMF-TEB
품목 번호 : KME-YD
품목 번호 : KME-ZDZ
품목 번호 : KME-YJ
품목 번호 : KME-YJG
품목 번호 : KME-DL
품목 번호 : KME07
품목 번호 : KME08
품목 번호 : KME09
품목 번호 : KMS04
전자빔 증발 코팅 / 금도금 / 텅스텐 도가니 / 몰리브덴 도가니
품목 번호 : KMS05
품목 번호 : KM-D10
이러한 증발 보트는 일반적으로 해당 금속 또는 합금으로 만들어진 보트 모양의 용기입니다. 이는 증발되는 물질을 유지하고 증발 공정의 고온 및 진공 조건을 견디도록 설계되었습니다. 보트는 종종 텅스텐이나 몰리브덴 필라멘트와 같은 가열 요소에 장착되고 가열되어 재료를 기화시킵니다. 기화된 물질은 기판에 응축되어 얇은 필름을 형성합니다.
증발 보트를 사용할 때는 손상이나 오염을 방지하기 위해 조심스럽게 취급하는 것이 중요합니다. 생산된 박막의 품질과 일관성을 보장하려면 적절한 세척 및 취급 기술을 따라야 합니다. 또한 적절한 증발 보트 재료의 선택은 온도, 재료 호환성 및 필름 특성과 같은 증발 공정의 특정 요구 사항에 따라 달라집니다.
요약하면, 텅스텐, 몰리브덴, 탄탈륨 증발 보트는 진공 증발 공정에 사용되는 특수 도구입니다. 이 보트는 고온을 견디고 증발되는 물질을 유지하도록 설계되었습니다. 각 재료는 높은 융점, 열 전도성, 내부식성과 같은 특정 특성을 제공하므로 다양한 증발 응용 분야에 적합합니다. 이러한 증발 보트는 반도체 제조 및 광학 코팅과 같은 산업의 박막 증착 공정에서 중요한 역할을 합니다.
FAQ
증발 보트를 사용하면 어떤 이점이 있나요?
증발 보트는 박막 증착 공정에서 여러 가지 장점을 제공합니다. 재료 증발을 위한 제어된 환경을 제공하여 필름 두께와 균일성에 대한 정밀한 제어를 보장합니다. 증발 보트는 고온을 견딜 수 있고 효율적인 열 전달을 제공하여 일관된 증발 속도를 가능하게 합니다. 다양한 크기와 모양으로 제공되며 다양한 증발 시스템과 기판 구성을 수용합니다. 증발 보트를 사용하면 금속, 반도체, 세라믹 등 다양한 재료를 증착할 수 있습니다. 로드 및 언로드가 용이하여 신속한 재료 변경 또는 공정 조정이 용이합니다. 전반적으로 증발 보트는 박막 증착 기술의 필수 도구로서 다양성, 신뢰성 및 재현성을 제공합니다.
증발 보트의 일반적인 수명은 얼마나 됩니까?
증발 보트의 수명은 여러 요인에 따라 달라질 수 있습니다. 이는 주로 보트에 사용되는 재료, 작동 조건 및 사용 빈도에 따라 달라집니다. 텅스텐이나 몰리브덴과 같은 내화성 금속으로 만든 증발 보트는 일반적으로 세라믹 재료로 만든 보트에 비해 내구성이 더 좋고 수명도 더 깁니다. 적절한 취급, 정기적인 유지 관리 및 적절한 청소 절차를 통해 증발 보트는 일반적으로 여러 증착 주기에 사용할 수 있습니다. 그러나 시간이 지남에 따라 증발 보트는 갈라짐이나 성능 저하 등 마모가 발생하여 수명이 단축될 수 있습니다. 일관되고 안정적인 박막 증착을 보장하려면 증발 보트의 상태를 모니터링하고 정기적인 검사를 수행하며 필요할 때 교체하는 것이 중요합니다.
증발 보트를 재사용할 수 있나요?
증발 보트를 재사용할 수 있지만 이는 여러 요인에 따라 달라집니다. 보트의 상태, 청결도, 다양한 증발 물질과의 호환성은 재사용 가능 여부를 결정하는 데 중요한 역할을 합니다. 증발 보트의 상태가 양호하고 균열이나 결함이 없으며 철저하게 청소된 경우 일반적으로 후속 증착에 재사용할 수 있습니다. 그러나 보트가 반응성 물질에 노출되었거나 성능 저하의 징후가 있는 경우 재사용에 적합하지 않을 수 있습니다. 증발 보트를 재사용할 때 오염이나 원치 않는 반응의 가능성을 고려하십시오. 보트의 성능을 유지하고 재사용 적합성을 보장하려면 정기적인 검사와 적절한 청소 절차가 필수적입니다.
적절한 증발 보트 재료를 어떻게 선택합니까?
적절한 증발 보트 재료의 선택은 여러 요인에 따라 달라집니다. 증발되는 물질의 녹는점을 고려하고 보트 고장을 방지하기 위해 녹는점이 더 높은 보트 재료를 선택하십시오. 또한 반응이나 오염을 방지하려면 보트 재료와 증발제의 호환성을 고려하십시오. 증발 중 효율적인 열 전달과 온도 제어를 위해 보트의 열전도율과 열용량을 평가해야 합니다. 또한 강도, 내구성 등 보트의 기계적 특성을 고려하여 반복되는 가열 및 냉각 주기를 견딜 수 있는지 확인하세요.
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