SEM용 금 코팅은 주로 비전도성 샘플을 전기 전도성으로 만들어 전하 효과를 방지하고 얻은 이미지의 품질을 향상시키는 데 사용됩니다. 이는 일반적으로 2~20nm 두께의 얇은 금 층을 시료 표면에 도포함으로써 이루어집니다.
전하 효과 방지:
비전도성 물질은 주사 전자 현미경(SEM)의 전자 빔에 노출되면 정전기장을 축적하여 전하 효과를 일으킬 수 있습니다. 이러한 효과로 인해 이미지가 왜곡되고 재료의 품질이 크게 저하될 수 있습니다. 좋은 전도체인 금으로 샘플을 코팅하면 전하가 소멸되어 전자빔 아래에서 샘플이 안정적으로 유지되고 이미지 수차를 방지할 수 있습니다.이미지 품질 향상:
금 코팅은 전하를 방지할 뿐만 아니라 SEM 이미지의 신호 대 잡음비를 크게 개선합니다. 금은 이차 전자 수율이 높기 때문에 비전도성 물질에 비해 전자 빔에 부딪힐 때 더 많은 이차 전자를 방출합니다. 이렇게 방출이 증가하면 신호가 더 강해져 특히 저배율과 중간 배율에서 더 선명하고 세밀한 이미지를 얻을 수 있습니다.
적용 및 고려 사항:
금은 낮은 작업 기능으로 인해 코팅에 효율적이기 때문에 표준 SEM 애플리케이션에 널리 사용됩니다. 특히 테이블탑 SEM에 적합하며 시료 표면을 크게 가열하지 않고도 시료의 무결성을 보존하면서 적용할 수 있습니다. 에너지 분산형 X-선(EDX) 분석이 필요한 시료의 경우 시료의 구성을 방해하지 않는 코팅 재료를 선택하는 것이 중요하므로 일반적으로 분석 대상 시료에 존재하지 않는 금이 선호되는 경우가 많습니다.
기술 및 장비:
