진공 펌프의 진공 레벨은 펌프가 달성할 수 있는 압력 레벨을 의미합니다.
진공 펌프의 종류에 따라 다양한 진공 레벨을 제공합니다.
진공 레벨은 일반적으로 여러 압력 범위로 분류됩니다.
1. 거친 진공
이 범위는 10^3 mbar ~ 1mbar(760 ~ 0.75 Torr)입니다.
2. 중간 진공
이 범위는 1 mbar ~ 10^-3 mbar(0.75 ~ 7.5^-3 Torr)입니다.
3. 고진공
이 범위는 10^-3 mbar ~ 10^-7 mbar(7.5^-3 ~ 7.5^-7 Torr)입니다.
4. 초고진공
이 범위는 10^-7 mbar ~ 10^-11 mbar(7.5^-7 ~ 7.5^-11 Torr)입니다.
5. 극고진공
이 범위는 10^-11 mbar(< 7.5^-11 Torr) 미만입니다.
궁극 진공은 진공 펌프가 제공할 수 있는 가장 낮은 압력 수준입니다.
유량이 0으로 떨어지는 지점이며, 이는 펌프가 더 이상 증기를 이동할 수 없음을 의미합니다.
진공 펌프를 선택할 때는 특정 용도에 맞는 진공 수준을 고려하는 것이 중요합니다.
예를 들어, 다이어프램 진공 펌프는 0.3 mbar까지 최종 진공을 제공할 수 있고, 회전 날개 진공 펌프는 2 x 10^-3 mbar까지 최종 진공을 제공할 수 있습니다.
진공 깊이는 달성되는 진공 수준을 의미하며 화합물의 끓는점에 영향을 미칩니다.
진공 깊이가 클수록 끓는점이 낮아집니다.
따라서 진공 펌프를 선택할 때는 사용할 화합물의 끓는점을 고려하는 것이 중요합니다.
끓는점이 높은 화합물을 사용할 경우 진공 깊이가 더 큰 진공 펌프를 구입하는 것이 유리할 수 있습니다.
산업용 진공 펌프는 초고진공(UHV) 유형으로 분류됩니다.
UHV 펌프는 약 100나노파스칼(10^-7 파스칼, 10^-9 mbar, ~10^-9 torr) 미만의 압력이 특징입니다.
이러한 펌프는 일반적으로 2단계 진공 펌프입니다.
2단계 진공 펌프 설계는 산업용 용량에서 UHV 진공 수준을 달성하고자 할 때 선호됩니다.
이 펌프에는 두 세트의 로터와 베인이 포함되어 있어 저진공 스테이지와 고진공 스테이지를 활용할 수 있습니다.
고진공 단계는 공정 가스를 흡입하여 가스를 대기압으로 압축하는 두 번째 저진공 단계로 전달하여 펌프의 진공 성능을 향상시킵니다.
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