지식 SEM에 골드 스퍼터링이 사용되는 이유는? 4가지 주요 이유 설명
작성자 아바타

기술팀 · Kintek Solution

업데이트됨 1 month ago

SEM에 골드 스퍼터링이 사용되는 이유는? 4가지 주요 이유 설명

금 스퍼터링은 비전도성 또는 전도성이 낮은 시편에서 얻은 이미지의 품질을 향상시키기 위해 주사 전자 현미경(SEM)에서 사용되는 중요한 기술입니다.

SEM에 금 스퍼터링을 사용하는 이유는 무엇인가요? 4가지 주요 이유 설명

SEM에 골드 스퍼터링이 사용되는 이유는? 4가지 주요 이유 설명

1. 충전 방지

SEM에서는 전자 빔이 시편과 상호 작용합니다.

비전도성 물질은 이러한 상호작용으로 인해 정전기장을 축적하여 "충전" 효과를 일으킬 수 있습니다.

전하가 발생하면 전자 빔이 편향되어 이미지가 왜곡될 수 있습니다.

시편에 얇은 금 층을 스퍼터링하면 표면이 전도성이 되어 전하가 소멸되고 빔 편향과 이미지 왜곡을 방지할 수 있습니다.

2. 신호 대 잡음비 향상

금은 좋은 이차 전자 방출체입니다.

시편에 금 층을 적용하면 방출되는 이차 전자가 증가하여 SEM이 감지하는 신호가 향상됩니다.

이러한 신호의 향상은 더 나은 신호 대 잡음비로 이어지며, 이는 더 나은 대비와 디테일의 고해상도 이미지를 얻는 데 중요합니다.

3. 균일성 및 두께 제어금 스퍼터링을 사용하면 시편 표면 전체에 균일하고 제어된 두께의 금을 증착할 수 있습니다.이러한 균일성은 샘플의 여러 영역에서 일관된 이미지를 얻기 위해 필수적입니다.

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