금 스퍼터링은 비전도성 또는 전도성이 낮은 시편에서 얻은 이미지의 품질을 향상시키기 위해 주사 전자 현미경(SEM)에서 사용되는 중요한 기술입니다.
SEM에 금 스퍼터링을 사용하는 이유는 무엇인가요? 4가지 주요 이유 설명
1. 충전 방지
SEM에서는 전자 빔이 시편과 상호 작용합니다.
비전도성 물질은 이러한 상호작용으로 인해 정전기장을 축적하여 "충전" 효과를 일으킬 수 있습니다.
전하가 발생하면 전자 빔이 편향되어 이미지가 왜곡될 수 있습니다.
시편에 얇은 금 층을 스퍼터링하면 표면이 전도성이 되어 전하가 소멸되고 빔 편향과 이미지 왜곡을 방지할 수 있습니다.
2. 신호 대 잡음비 향상
금은 좋은 이차 전자 방출체입니다.
시편에 금 층을 적용하면 방출되는 이차 전자가 증가하여 SEM이 감지하는 신호가 향상됩니다.
이러한 신호의 향상은 더 나은 신호 대 잡음비로 이어지며, 이는 더 나은 대비와 디테일의 고해상도 이미지를 얻는 데 중요합니다.
3. 균일성 및 두께 제어금 스퍼터링을 사용하면 시편 표면 전체에 균일하고 제어된 두께의 금을 증착할 수 있습니다.이러한 균일성은 샘플의 여러 영역에서 일관된 이미지를 얻기 위해 필수적입니다.