전자빔 코팅은 기판에 박막을 증착하는 데 사용되는 정교한 공정입니다.
전자빔을 에너지원으로 사용하여 고진공 환경에서 재료를 증착하는 방식입니다.
이 기술을 사용하면 증착 공정을 정밀하게 제어할 수 있으므로 특정 광학 및 물리적 특성을 가진 코팅을 만들 수 있습니다.
전자빔 코팅 공정의 5가지 주요 단계
1. 고진공에서의 증착
공정은 고진공 챔버에서 시작됩니다.
소스 재료는 이 챔버 내부의 도가니에 배치됩니다.
진공 환경은 증발된 원자 또는 분자가 충돌 없이 직선으로 이동하도록 보장합니다.
이는 증착의 순도와 방향성을 유지하는 데 매우 중요합니다.
2. 전자빔 사용
전자빔이 생성되어 도가니의 소스 재료로 향하게 됩니다.
전자의 운동 에너지는 충격과 함께 열로 변환되어 재료가 증발합니다.
이 방법은 가열 공정을 정밀하게 제어하고 도가니 재료에 의한 재료의 오염을 방지합니다.
3. 기판 위에 증착
증발된 재료는 증기 구름을 형성하고 기판 위에 응축됩니다.
기판은 일반적으로 도가니 위에 배치됩니다.
증착된 필름의 두께와 균일성을 제어하기 위해 회전 및 위치를 정밀하게 조정할 수 있습니다.
4. 개선 및 변형
이온 빔을 사용하여 증착을 지원함으로써 공정을 향상시킬 수 있습니다.
이를 통해 코팅의 접착력과 밀도가 향상됩니다.
또한 여러 개의 도가니를 사용하여 진공을 깨지 않고 여러 층의 재료를 적용할 수 있습니다.
이를 통해 복잡한 코팅 설계가 가능합니다.
5. 응용 분야
전자빔 코팅은 고성능 코팅이 필요한 다양한 산업 분야에서 사용됩니다.
여기에는 항공우주, 자동차, 절삭 공구 및 부식성 환경의 보호 코팅이 포함됩니다.
또한 레이저 광학, 태양광 패널, 안경과 같은 장치의 광학 박막에도 널리 사용됩니다.
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