박막 증착 부품
몰리브덴/텅스텐/탄탈륨 증발 보트
품목 번호 : KME01
가격은 다음을 기준으로 달라집니다 specs and customizations
- 재료
- 텅스텐 / 몰리브덴 / 탄탈륨
- 사양
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소개
증발 보트는 저항 증발 공정에서 재료를 가열하고 증발시키는 데 사용됩니다. 증발 보트는 텅스텐, 몰리브덴, 몰리브덴-란탄(ML), 몰리브덴-이트륨 산화물(MY), 탄탈륨 등 증기압이 낮은 재료로 만들어져 보트 재료의 입자가 증기와 최종 층에 유입되지 않도록 합니다. 증발 보트는 내식성이 우수하고 증기압이 낮으며 전기 전도성이 우수하고 융점이 매우 높으며 치수적으로 안정적입니다.
응용 분야
증발 보트 소스는 열 증발 시스템에서 금속, 합금 및 재료를 증착하는 데 사용됩니다. 텅스텐, 탄탈륨, 몰리브덴으로 만들어진 다양한 두께로 제공되므로 다양한 전원과의 호환성을 보장합니다. 이 보트는 전자빔 제조를 포함한 진공 증착 및 박막 증착에 매우 중요합니다. 진공 코팅, 전자, 태양 에너지 및 야금과 같은 산업에서 널리 사용됩니다. 균열을 방지하려면 용기를 점진적으로 가열하는 것이 필수적입니다. 증발 보트는 재료 분석 및 박막 증착 공정에서 중요한 역할을 하는 다목적 도구입니다.
몰리브덴, 텅스텐, 탄탈륨 증발 보트는 다음과 같은 다양한 산업 분야에서 활용되고 있습니다:
- 재료의 진공 증발
- 용광로 기계의 운반 보트
- 희토류 산업
- 핵연료 소결
- 커패시터 방전 소결
세부 정보 및 부품
| 길이 100 폭 8 두께 0.2/0.3mm | 길이 100 가로 15 두께 0.2/0.3/0.5mm | 길이 100 폭 20 두께 0.2/0.3/0.5mm | 그루브 크기: 길이 50 깊이 2.6 |
원리
몰리브덴/텅스텐/탄탈륨 증착 보트는 열 증착 시스템에서 다양한 금속, 합금 및 재료를 증착하는 데 사용됩니다. 보트에 전류를 통과시켜 가열하면 재료가 증발합니다. 그런 다음 증발된 물질이 기판에 응축되어 박막을 형성합니다. 필름의 두께는 보트를 통과하는 전류의 양과 증발 시간에 따라 조절할 수 있습니다.
장점
- 우수한 내식성
- 낮은 증기압
- 우수한 전기 전도성
- 매우 높은 융점
- 치수 안정성
FAQ
증발 보트 사용 시 주의 사항.
증발 보트를 사용하면 어떤 이점이 있나요?
증발 보트의 일반적인 수명은 얼마나 됩니까?
증발 보트를 재사용할 수 있나요?
적절한 증발 보트 재료를 어떻게 선택합니까?
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