실리콘 카바이드(SiC)는 높은 경도, 낮은 밀도, 높은 열전도율, 우수한 내화학성 등의 고유한 특성으로 인해 다양한 용도로 활용되는 다재다능한 소재입니다. 반도체 제조, 고온 발열체, 내마모성 부품, 방위 및 항공우주 분야 등 다양한 산업에 걸쳐 사용되고 있습니다.
반도체 제조:
실리콘 카바이드는 반도체 제조 공정에서 광범위하게 사용됩니다. 서셉터, 슬립 링, 리프트 핀, 전극 및 포커스 링과 같은 웨이퍼 지지 시스템에서 중요한 구성 요소로 사용됩니다. 이러한 구성 요소는 급속 열 처리(RTP), 플라즈마 에칭, 화학 기상 증착(CVD), 에피택시, 이온 주입, 리소그래피 및 다양한 세척 방법을 포함한 다양한 반도체 제조 공정에서 필수적입니다. 이러한 애플리케이션에서 SiC를 사용하는 이유는 높은 열전도율과 반도체 공정 중에 발생하는 열악한 화학 환경에 대한 내성 때문입니다.고온 애플리케이션:
SiC는 높은 열전도율과 극한 온도에서의 안정성으로 인해 고온 애플리케이션에 이상적입니다. 산업용 용광로용 발열체에 사용되며, 최대 1600°C의 온도에서도 성능 저하 없이 견딜 수 있습니다. 또한 세라믹, 유리, 야금 등의 산업에서 고온 용광로와 가마에 SiC 봉과 세라믹이 사용됩니다. 고온에서 구조적 무결성과 전기적 특성을 유지하는 이 소재의 능력은 이러한 애플리케이션에 없어서는 안 될 필수 요소입니다.
마모 및 부식 저항성:
실리콘 카바이드는 경도와 내마모성이 매우 뛰어나 열악한 환경에서 내구성이 요구되는 부품에 적합합니다. 기계적 마모가 중요한 씰, 베어링 및 볼 밸브 부품에 사용됩니다. 화학 산업에서 SiC는 화학적 불활성이 뛰어나 부식성 매체에 노출되는 펌프와 노즐에 사용됩니다. 예를 들어 발전소 및 대형 보일러의 탈황 노즐은 부식성이 강한 기체와 액체에 대한 내성으로 인해 SiC로 만들어집니다.방위 및 군사 애플리케이션:
국방 부문에서 SiC 세라믹은 높은 경도와 가벼운 특성으로 인해 방탄복으로 사용됩니다. 다른 소재에 비해 SiC는 무게 감소와 탄도 보호가 균형을 이루고 있어 개인 및 차량 장갑 시스템에 선호되는 소재입니다.
