진공 시스템에서 누출을 찾는 데 사용되는 방법에는 주로 주입 방법과 흡입 노즐 방법이 있으며, 불활성 가스 누출 및 일반 유지보수를 위한 추가 기술이 있습니다.
주입 감지 방법:
이 전통적인 방법은 일반적으로 헬륨 질량 분석기에 연결된 용광로를 비우고 용광로 외부에 헬륨 가스를 주입하는 것입니다. 시스템은 진공 시스템으로 유입될 수 있는 헬륨이 있는지 모니터링하여 누출을 나타냅니다. 이 방법은 헬륨이 분자가 작아 아주 작은 누출에도 쉽게 침투할 수 있으므로 진공 시스템의 누출을 감지하는 데 신뢰할 수 있는 추적 가스로서 효과적입니다.노즐 감지 방법:
이 방법은 열교환기, 수냉식 플랜지, 전기 피드스루와 같이 배기할 수 없는 물체에 적합합니다. 누출을 나타내는 가스(일반적으로 헬륨)가 감지 대상 물체에 채워집니다. 그런 다음 센서 또는 헬륨 질량 분석기를 사용하여 누출을 나타내는 가스가 외부로 빠져나가는지 확인합니다. 이 방법은 메인 진공 챔버의 일부가 아니지만 전체 진공 무결성에 중요한 구성품에 특히 유용합니다.
불활성 가스 누출 감지:
불활성 가스를 사용하는 시스템의 경우 가스 공급 시스템에서 진공로로의 누출이 없는지 확인하는 것이 중요합니다. 불활성 가스 누출을 감지하는 데 일반적으로 사용되는 두 가지 방법은 필름(비누 방울) 방법과 진공 누출 감지입니다. 필름 방식은 누출이 의심되는 부위에 비누 용액을 바르고 기포가 발생하는지 관찰하는 방법이며, 진공 방식은 진공 게이지를 사용하여 압력 변화를 모니터링하여 누출을 나타냅니다.유지 관리 및 예방 조치:
누출을 최소화하려면 정기적인 유지보수 및 예방 조치가 필수적입니다. 여기에는 헬륨 누출 감지기 또는 잔류 가스 분석을 사용하여 미세한 누출을 찾고, 임시 밀봉 화합물을 교체하고, 씰, 밸브 및 펌프와 같은 구성품을 정기적으로 점검 및 교체하는 것이 포함됩니다. 적절한 유지보수는 예기치 않은 장비 가동 중단을 방지할 뿐만 아니라 진공로의 성능과 수명을 최적화하여 장기적으로 총 운영 비용을 절감할 수 있습니다.
