RF 스퍼터링에서 사용되는 주파수는 일반적으로 5-30MHz 범위 내에 있습니다.
그러나 가장 일반적인 주파수는 13.56MHz입니다.
이 주파수는 ITU 무선 규정에 의해 산업, 과학 및 의료(ISM) 기기에 할당되어 있기 때문에 선택됩니다.
이 할당은 통신 서비스를 방해하지 않도록 보장합니다.
또한 13.56MHz는 아르곤 이온이 표적에 운동량을 전달할 수 있는 충분한 시간을 허용할 만큼 충분히 낮습니다.
이는 스퍼터링 공정에 매우 중요합니다.
왜 13.56MHz인가? 4가지 전략적 이유
1. ISM 대역 할당
국제전기통신연합(ITU)은 13.56MHz를 ISM 대역의 일부로 지정했습니다.
이 대역은 특히 산업, 과학 및 의료용 애플리케이션을 위한 것입니다.
이 지정은 다른 무선 주파수 통신과의 간섭을 방지하는 데 도움이 됩니다.
이를 통해 스퍼터링 공정이 다른 RF 기반 기술에 의해 방해받거나 방해받지 않고 작동할 수 있습니다.
2. 모멘텀 전달 효율
이 주파수는 아르곤 이온에서 표적 물질로 운동량을 효율적으로 전달하는 데 도움이 되는 시간 척도입니다.
주파수가 더 높으면 이온이 운동량을 효과적으로 전달할 시간이 충분하지 않기 때문에 이것은 매우 중요합니다.
이는 잠재적으로 스퍼터링 효율을 떨어뜨릴 수 있습니다.
3. 전자 역학
13.56MHz의 주파수는 전자 역학 측면에서도 균형을 이룹니다.
더 높은 주파수에서는 전자가 스퍼터링 공정에서 더 우세해집니다.
이는 증착 특성을 변화시켜 전자빔 증발과 더 유사하게 만들 수 있습니다.
13.56MHz를 사용함으로써 이 공정은 이온과 전자가 모두 중요한 역할을 하는 균형을 유지합니다.
그러나 이온이 고정되지 않아 효과적인 스퍼터링을 보장합니다.
4. 규정 준수 및 실무적 고려 사항
요약하면, RF 스퍼터링에서 13.56MHz의 주파수는 규정 준수와 실용적인 고려 사항의 결과입니다.
이러한 고려 사항은 스퍼터링 공정 중 이온 및 전자 상호 작용의 물리학적인 측면과 관련이 있습니다.
이 주파수는 스퍼터링 시스템의 효율적이고 간섭 없는 작동을 보장합니다.
특히 비전도성 재료의 박막 증착에 이상적입니다.
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