RF 스퍼터링에 사용되는 주파수는 일반적으로 5-30MHz 범위이며, 13.56MHz가 가장 일반적인 주파수입니다. 이 주파수는 ITU 무선 규정에 따라 산업, 과학 및 의료(ISM) 기기에 할당되어 통신 서비스를 방해하지 않기 때문에 선택됩니다. 또한 13.56MHz는 스퍼터링 공정에 중요한 아르곤 이온이 타겟으로 운동량을 전달할 수 있는 충분한 시간을 허용할 만큼 충분히 낮습니다.
13.56MHz를 선택한 것은 여러 가지 이유로 전략적인 선택입니다:
-
ISM 대역 할당: 국제전기통신연합(ITU)은 특히 산업, 과학 및 의료 애플리케이션을 위해 13.56MHz를 ISM 대역의 일부로 지정했습니다. 이 지정은 다른 무선 주파수 통신과의 간섭을 방지하여 스퍼터링 공정이 다른 RF 기반 기술에 의해 방해받거나 중단되지 않고 작동할 수 있도록 보장합니다.
-
모멘텀 전달 효율: 이 주파수에서는 아르곤 이온에서 표적 물질로 운동량을 효율적으로 전달하는 데 도움이 되는 시간 척도입니다. 주파수가 더 높으면 이온이 운동량을 효과적으로 전달할 시간이 충분하지 않아 잠재적으로 스퍼터링 효율이 떨어질 수 있으므로 이 점이 중요합니다.
-
전자 역학: 13.56MHz의 주파수는 전자 역학 측면에서도 균형을 이룹니다. 주파수가 높을수록 전자가 스퍼터링 공정에서 더 우세해져 증착 특성을 변경하여 전자빔 증발과 더 유사하게 만들 수 있습니다. 13.56MHz를 사용하면 이 공정은 이온과 전자가 모두 중요한 역할을 하는 균형을 유지하지만 이온이 고정되지 않아 효과적인 스퍼터링을 보장합니다.
요약하면, RF 스퍼터링에서 13.56MHz의 주파수는 규정 준수와 스퍼터링 공정 중 이온 및 전자 상호 작용의 물리학에 관한 실질적인 고려 사항의 결과입니다. 이 주파수는 스퍼터링 시스템의 효율적이고 간섭 없는 작동을 보장하므로 박막 증착, 특히 비전도성 재료의 증착에 이상적입니다.
13.56MHz에서 RF 스퍼터링의 정밀도와 신뢰성으로 박막 증착 공정을 향상시킬 준비가 되셨나요? 킨텍은 최적의 운동량 전달을 달성하고 규정을 준수하는 데 있어 주파수의 중요한 역할을 잘 이해하고 있습니다. 당사의 첨단 스퍼터링 시스템은 이 전략적 주파수의 이점을 활용하여 고품질의 간섭 없는 박막 증착을 보장하도록 설계되었습니다. 지금 바로 킨텍의 차이를 경험하고 연구 또는 생산 역량을 강화하십시오. 최첨단 솔루션과 귀사의 특정 요구 사항을 지원하는 방법에 대해 자세히 알아보려면 당사에 문의하세요.
