디퓨전 펌프는 다양한 산업 분야에서 고진공을 만드는 데 사용되는 특수 도구입니다.
이 펌프는 끓는 유체의 증기를 사용하여 공기 분자를 포집하고 이동시킴으로써 부품을 움직이지 않고 작동합니다.
답변 요약:
확산 펌프는 끓는 유체의 증기를 사용하여 공기 분자를 포집하는 유체 포집 펌프의 일종입니다.
그런 다음 이러한 분자는 다른 위치로 이동하여 냉각 후 방출됩니다.
이 프로세스를 통해 펌프는 10-2에서 10-10 토르에 이르는 고진공을 생성할 수 있습니다.
따라서 전자빔 현미경, 진공 증착, 코팅 및 진공로와 같은 응용 분야에 적합합니다.
자세한 설명:
1. 작동 원리
피스톤이나 핀을 사용하여 물리적으로 공기를 이동시키는 기계식 펌프와 달리, 확산 펌프는 증기를 생성하기 위해 끓인 유체(흔히 오일이라고 함)를 사용합니다.
이 증기는 공기 분자를 포집하여 펌프의 바닥으로 운반한 후 냉각되어 방출됩니다.
중력에 의한 증기의 하향 흐름이 이 과정을 돕습니다.
2. 사용되는 유체의 종류
펌프는 각각 특정 특성을 가진 다양한 유형의 유체를 사용할 수 있습니다.
예를 들어, 폴리페닐에테르는 전자 충격에 강하고 증기압이 낮아 특정 하이테크 애플리케이션에 적합합니다.
반면 퍼플루오로폴리에테르는 불활성이 높고 가열하면 기체로 분해되므로 진공의 무결성을 유지하는 데 유용하지만 독성이 있어 취급 시 주의가 필요합니다.
3. 응용 분야
디퓨전 펌프는 움직이는 부품 없이 고진공을 생성할 수 있기 때문에 다양한 산업 분야에서 내구성과 신뢰성이 뛰어납니다.
여기에는 전자빔의 작동에 고진공이 필수적인 전자빔 현미경과 같은 중요한 공정이 포함됩니다.
진공 환경에서 물질을 기화시켜 기판에 증착하는 진공 증착도 또 다른 주요 응용 분야입니다.
4. 유지보수 및 작동
확산 펌프는 주로 오일 레벨과 히터 시스템의 모니터링 및 유지보수를 포함하여 최소한의 유지보수가 필요합니다.
효율적인 작동을 위해서는 가열 요소를 올바르게 정렬하는 것이 중요합니다.
5. 다른 펌프와의 비교
확산 펌프는 임펠러 또는 증기 운동량을 사용하여 가스를 배출구 쪽으로 밀어내는 키네틱 펌프와 크게 다릅니다.
키네틱 펌프는 일반적으로 고압 응용 분야에 사용되며 진공 시스템에서 보조 펌프로 간주됩니다.
결론적으로, 확산 펌프는 산업 환경에서 고진공을 만들기 위한 특수 도구입니다.
다양한 유체의 특성을 활용하여 공기 분자를 효과적이고 효율적으로 포집하고 제거합니다.
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