나노 기술에서 증착이란 고체 표면에 물질을 원자 단위 또는 분자 단위로 얇거나 두꺼운 층을 만드는 과정을 말합니다. 이 과정을 통해 용도에 따라 기판 표면의 특성을 변경하는 코팅이 생성됩니다. 이러한 층의 두께는 증착 방법과 사용된 재료에 따라 단일 원자(나노미터)에서 수 밀리미터까지 다양합니다.
증착 방법:
증착 기술은 스프레이, 스핀 코팅, 도금 및 진공 증착과 같은 방법을 포함하여 매우 다양합니다. 특히 진공 증착은 원자 단위의 균일한 얇은 층을 생성할 수 있기 때문에 나노 기술에서 중요한 응용 분야를 가지고 있습니다. 이 방법에는 물리적 기상 증착(PVD)과 화학 기상 증착(CVD)이 있으며, 증기의 공급원(PVD의 경우 물리적, CVD의 경우 화학적)에 따라 다릅니다.나노 기술의 진공 증착:
진공 증착, 특히 PVD는 나노 와이어와 나노 벨트의 성장에 중요한 역할을 해왔습니다. 이 공정에는 일반적으로 고온에서 분말 형태의 소스 재료를 승화시키는 과정이 포함됩니다. 고순도 산화물 분말이 일반적으로 사용되며, 인클로저 위에 냉각수를 단계적으로 흐르게 하여 온도 구배를 구현합니다. 이 방법을 사용하면 나노 스케일 애플리케이션에 필수적인 층 두께와 균일성을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
박막 증착 기술:
박막 증착은 집적 회로를 만드는 데 중요한 기술이며 나노 기술에서 점점 더 중요해지고 있습니다. 이 공정에는 전기, 고열, 화학 반응 또는 증발과 같은 다양한 기술을 사용하여 코팅 재료를 증기 또는 용해된 상태에서 변환하여 표면에 얇은 코팅을 적용하는 것이 포함됩니다. 가장 오래되고 가장 일반적인 박막 증착 유형 중 하나는 전기 도금으로, 용해된 금속 원자가 포함된 화학 용액에 대상 물체를 담그고 전류를 흘려서 원자가 대상에 증착되도록 하는 방식입니다.