SEM에 가장 적합한 코팅은 해상도, 전도도, X-선 분광학의 필요성 등 분석의 특정 요구 사항에 따라 달라집니다. 역사적으로 금은 전도도가 높고 입자 크기가 작아 고해상도 이미징에 이상적이기 때문에 가장 자주 사용되는 재료였습니다. 그러나 에너지 분산형 X-선(EDX) 분석에는 일반적으로 X-선 피크가 다른 원소와 간섭을 일으키지 않는 탄소가 선호됩니다.
초고해상도 이미징의 경우 입자 크기가 더 미세한 텅스텐, 이리듐, 크롬과 같은 재료가 사용됩니다. 백금, 팔라듐, 은도 사용되며 은은 가역성이라는 이점을 제공합니다. 최신 SEM에서는 저전압 및 저진공 모드와 같은 기능으로 인해 코팅의 필요성이 줄어들 수 있으며, 이를 통해 비전도성 샘플을 최소한의 전하 아티팩트로 검사할 수 있습니다.
특히 금, 이리듐 또는 백금과 같은 금속을 사용한 스퍼터 코팅은 SEM을 위해 비전도성 또는 전도성이 낮은 시편을 준비하는 표준 방법입니다. 이 코팅은 전하를 방지하고 열 손상을 줄이며 이차 전자 방출을 향상시켜 이미지의 품질을 개선하는 데 도움이 됩니다. 그러나 X-선 분광법을 사용하는 경우 다른 원소의 X-선 피크와의 간섭을 피하기 위해 탄소 코팅이 선호됩니다.
요약하면, SEM용 코팅 재료의 선택은 특정 응용 분야와 분석 요구 사항에 따라 달라집니다. 금과 탄소가 일반적으로 사용되며, 고해상도 이미징에는 금을, EDX 분석에는 탄소를 선호합니다. 텅스텐, 이리듐, 백금, 은과 같은 다른 재료는 초고해상도 이미징 또는 가역성과 같은 특정 요구 사항에 사용됩니다.
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