주사 전자 현미경(SEM)의 경우, 최상의 결과를 얻으려면 올바른 코팅을 선택하는 것이 중요합니다.
사용하는 코팅 유형은 필요한 해상도, 시료의 전도도, X-선 분광법 사용 여부 등 여러 요인에 따라 달라집니다.
SEM에 가장 적합한 코팅을 선택할 때 고려해야 할 5가지 주요 요소
1. 해상도 요구 사항
역사적으로 금은 가장 일반적으로 사용되는 코팅 재료였습니다. 금은 전도성이 높고 입자 크기가 작아 고해상도 이미징에 이상적이기 때문입니다.
2. 전도성 요구 사항
에너지 분산형 X-선(EDX) 분석의 경우 일반적으로 탄소가 선호됩니다. 이는 탄소의 X-선 피크가 다른 원소와 간섭을 일으키지 않아 분광 분석에 이상적이기 때문입니다.
3. 초고해상도 이미징
초고해상도 이미징에는 텅스텐, 이리듐, 크롬과 같은 재료가 사용됩니다. 이러한 재료는 입자 크기가 훨씬 더 미세하여 매우 상세한 이미지를 얻는 데 도움이 됩니다.
4. 가역성 및 다용도성
백금, 팔라듐, 은도 SEM 코팅에 사용됩니다. 특히 은은 가역성이라는 장점을 가지고 있어 다양한 용도로 활용할 수 있습니다.
5. 최신 SEM 기능
최신 SEM에서는 저전압 및 저진공 모드와 같은 고급 기능으로 인해 코팅의 필요성이 감소할 수 있습니다. 이러한 모드를 사용하면 최소한의 충전 아티팩트로 비전도성 샘플을 검사할 수 있습니다.
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