스퍼터링 공정에서 스퍼터링 이온의 전류는 증착 공정의 효율과 품질을 결정하는 중요한 요소입니다.
스퍼터링 이온의 전류란 무엇인가요? (4가지 핵심 사항으로 설명)
1. DC 다이오드 스퍼터링
DC 다이오드 스퍼터링에서는 500~1000V의 DC 전압이 인가됩니다.
이 전압은 타겟과 기판 사이에 아르곤 저압 플라즈마를 점화합니다.
그러면 양이온 아르곤 이온이 이 전압으로 인해 타겟을 향해 가속됩니다.
이 가속으로 인해 원자가 타겟에서 방출되어 기판 위에 증착됩니다.
2. RF 스퍼터링
RF 스퍼터링에서는 약 14MHz의 주파수를 가진 교류가 사용됩니다.
이 방법을 사용하면 절연 재료를 스퍼터링할 수 있습니다.
전자를 가속하여 RF로 진동시킬 수 있습니다.
더 무거운 이온은 RF 시스템에서 생성된 평균 전압에만 반응합니다.
이온은 타겟으로 가속하는 자체 바이어스 전압(VDC)의 영향을 받습니다.
이 자체 바이어스 전압은 DC 스퍼터링 중에 적용되는 등가 전압에 근접합니다.
3. 전압과 전류의 관계
스퍼터링 이온의 전류는 인가되는 전압과 직접적인 관련이 있습니다.
DC 다이오드 스퍼터링에서 전류는 500~1000V DC 전압에 의해 결정됩니다.
RF 스퍼터링에서 전류는 이온을 타겟으로 가속하는 자체 바이어스 전압(VDC)에 의해 결정됩니다.
4. 정밀도 및 효율성
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