1단계 진공 펌프는 한 세트의 로터와 베인으로 작동하는 반면, 2단계 진공 펌프는 두 세트의 로터와 베인을 사용하여 저진공 스테이지와 고진공 스테이지를 제공합니다. 주요 차이점은 다양한 진공 수준을 달성할 수 있는 능력과 다양한 압력 범위에서의 효율성에 있습니다.
1단계 진공 펌프:
일반적으로 기계식 펌프인 1단계 진공 펌프는 단일 로터와 베인 세트로 작동합니다. 이 펌프는 압력을 대기압(약 10^5 Pa)에서 더 낮은 압력(일반적으로 약 10 Pa)으로 낮추도록 설계되었습니다. 그러나 20토르(약 2.67kPa) 이하의 압력에서는 효율이 떨어지기 시작합니다. 이 유형의 펌프는 거칠고 낮은 진공 압력 범위에 적합하며 진공 시스템에서 기본(배압) 펌프로 자주 사용됩니다.2단계 진공 펌프:
2단계 진공 펌프에는 두 세트의 로터와 베인이 포함되어 있어 저진공 단계와 고진공 단계의 두 단계로 작동할 수 있습니다. 고진공 단계는 공정 가스를 흡입하여 대기압으로 가스를 압축하는 저진공 단계로 이송합니다. 이 2단계 설계를 통해 펌프는 더 깊은 압력 수준과 더 나은 진공 성능을 달성할 수 있으므로 초고진공(UHV) 수준이 필요한 애플리케이션에 적합합니다. 2단계 진공 펌프는 1단계 펌프에 비해 낮은 압력에서 더 효율적입니다.
요약하면, 1단계 진공 펌프와 2단계 진공 펌프의 주요 차이점은 설계와 달성할 수 있는 진공 수준입니다. 1단계 펌프는 거칠고 저진공 응용 분야에 적합하고, 2단계 펌프는 더 깊은 진공 레벨을 위해 설계되어 더 효율적이고 UHV 조건을 달성할 수 있습니다.
