1단계 진공 펌프에는 하나의 펌프 챔버가 있고, 2단계 진공 펌프에는 두 개의 펌프 챔버가 직렬로 연결되어 있습니다. 이 둘의 주요 차이점은 압축비와 달성할 수 있는 진공 수준입니다.
1단계 진공 펌프에서는 펌프 챔버가 대기로 직접 배출됩니다. 일반적으로 최대 약 1밀리바의 압력까지 거칠거나 낮은 진공 수준을 달성할 수 있습니다. 이 유형의 펌프는 일반적으로 일반 산업 공정과 같이 높은 진공 수준이 필요하지 않은 응용 분야에 사용됩니다.
반면에 2단계 진공 펌프는 두 세트의 로터와 베인을 사용합니다. 저진공 단계로 알려진 첫 번째 단계는 공정 가스를 흡입하여 고진공 단계로 알려진 두 번째 단계로 이송합니다. 고진공 단계는 가스를 대기압으로 압축하여 더 나은 진공 수준을 제공합니다. 2단계 진공 펌프는 일반적으로 10^-3 ~ 10^-4 밀리바 범위에서 더 높은 진공 수준을 달성할 수 있습니다.
2단계 진공 펌프는 초고진공(UHV) 수준의 생산과 같이 더 높은 진공 수준이 필요한 산업 응용 분야에서 선호됩니다. UHV 진공 수준은 약 100나노파스칼(10^-7 파스칼, 10^-9 mbar, ~10^-9 torr)보다 낮은 압력이 특징입니다. 이러한 진공 수준은 일반적으로 반도체 제조, 연구 실험실 및 진공 코팅과 같은 산업에서 요구됩니다.
요약하면, 1단계 진공 펌프와 2단계 진공 펌프의 차이점은 펌프 챔버의 수와 그 결과 달성할 수 있는 진공 수준에 있습니다. 1단 펌프는 챔버가 하나이며 거친 진공을 달성할 수 있는 반면, 2단 펌프는 챔버가 두 개이며 특히 초고진공 범위에서 더 높은 진공 수준을 달성할 수 있습니다.
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