진공 펌프에는 1단 진공 펌프와 2단 진공 펌프의 두 가지 주요 유형이 있습니다.
알아야 할 5가지 핵심 사항
1. 펌프 챔버 수
1단계 진공 펌프에는 펌프 챔버가 하나 있습니다.
2단 진공 펌프에는 두 개의 펌프 챔버가 직렬로 연결되어 있습니다.
2. 압축비 및 진공 레벨
이 둘의 주요 차이점은 압축비와 달성할 수 있는 진공 레벨입니다.
3. 단일 단계 진공 펌프
단일 단계 진공 펌프에서는 펌프 챔버가 대기로 직접 배출됩니다.
일반적으로 최대 약 1밀리바의 압력까지 거칠거나 낮은 진공 레벨을 달성할 수 있습니다.
이 유형의 펌프는 일반적으로 일반 산업 공정과 같이 높은 진공 수준이 필요하지 않은 애플리케이션에 사용됩니다.
4. 2단계 진공 펌프
2단계 진공 펌프는 두 세트의 로터와 베인을 사용합니다.
저진공 단계라고 하는 첫 번째 단계는 공정 가스를 흡입하여 고진공 단계라고 하는 두 번째 단계로 이송합니다.
고진공 단계에서는 가스를 대기압으로 압축하여 진공 수준을 높입니다.
2단계 진공 펌프는 일반적으로 10^-3 ~ 10^-4 밀리바 범위에서 더 높은 진공 수준을 달성할 수 있습니다.
5. 응용 분야 및 선호 용도
2단계 진공 펌프는 초고진공(UHV) 수준의 생산과 같이 더 높은 진공 수준이 필요한 산업 응용 분야에서 선호됩니다.
UHV 진공 레벨은 약 100 나노파스칼(10^-7 파스칼, 10^-9 mbar, ~10^-9 torr)보다 낮은 압력이 특징입니다.
이러한 진공 수준은 일반적으로 반도체 제조, 연구 실험실, 진공 코팅과 같은 산업에서 요구됩니다.
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