전자 현미경의 스퍼터 코팅은 일반적으로 금, 이리듐 또는 백금과 같은 금속과 같은 전도성 물질의 얇은 층을 비전도성 또는 저전도성 시편에 증착하는 것을 포함합니다.
이 프로세스는 전자빔 충전을 방지하고, 열 손상을 줄이며, 주사 전자 현미경(SEM) 중 2차 전자 방출을 향상시키는 데 매우 중요합니다.
전자 현미경의 스퍼터 코팅이란 무엇인가요? (3가지 주요 이점)
1. 스퍼터 코팅의 목적
충전 방지: SEM에서 전자빔이 비전도성 시편과 상호 작용하면 정전기장이 축적되어 전하가 발생할 수 있습니다.
이러한 충전은 이미지를 왜곡하고 전자 빔의 작동을 방해할 수 있습니다.
전도성 코팅을 적용하면 전하가 소멸되어 전자빔 스캐닝을 위한 안정적인 환경을 보장합니다.
열 손상 감소: 전자빔은 국부적인 가열로 인해 시편에 열 손상을 일으킬 수도 있습니다.
전도성 코팅은 이러한 열을 방출하여 시편이 손상되지 않도록 보호합니다.
이차 전자 방출 향상: 전도성 코팅, 특히 금이나 백금과 같은 중금속으로 만든 코팅은 전자빔에 부딪힐 때 이차 전자를 방출하는 데 탁월합니다.
이러한 2차 전자는 SEM에서 고해상도 이미지를 생성하는 데 매우 중요합니다.
2. 스퍼터 코팅 공정
스퍼터링 기법: 스퍼터링은 제어된 환경(일반적으로 아르곤 가스)에서 원자 또는 이온으로 타겟(금과 같이 증착할 물질의 블록)을 타격하는 것을 포함합니다.
이 충격으로 인해 타겟의 원자가 방출되어 시편 표면에 증착됩니다.
이 공정은 다용도로 사용할 수 있어 생물학적 샘플처럼 열에 민감한 시료도 시료 손상 없이 복잡한 3차원 표면을 코팅할 수 있습니다.
코팅 증착: 스퍼터링된 원자가 시편 표면에 균일하게 증착되어 얇은 필름을 형성합니다.
이 필름은 일반적으로 2~20nm 두께로 시료의 세부 사항을 가리지 않으면서도 충분한 전도성을 제공합니다.
3. SEM 샘플의 이점
신호 대 잡음비 개선: 전도성 코팅은 시편에서 방출되는 이차 전자의 수를 증가시켜 SEM 이미지의 신호 대 잡음비를 향상시켜 더 선명하고 세밀하게 만듭니다.
다양한 시편과의 호환성: 스퍼터 코팅은 복잡한 모양을 가진 시편과 열이나 다른 형태의 손상에 민감한 시편을 포함한 다양한 시편에 적용할 수 있습니다.
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