스퍼터 코팅은 표면에 얇은 금속층을 증착하는 공정입니다. 이 기술은 현미경 및 분석 기술을 포함한 다양한 응용 분야에서 사용됩니다. 스퍼터 코팅을 위한 금속의 선택은 전도도, 입자 크기, 특정 분석 방법과의 호환성 등 여러 요인에 따라 달라집니다.
어떤 금속을 스퍼터 코팅할 수 있나요? 5가지 필수 선택 사항 설명
1. 금
금은 역사적으로 가장 일반적인 스퍼터 코팅 재료입니다. 금은 전도성이 높고 입자 크기가 작아 고해상도 이미징에 이상적이기 때문에 선택됩니다. 금은 특히 전기 전도성과 이미징 간섭을 최소화하는 것이 중요한 애플리케이션에서 선호됩니다.
2. 탄소
탄소는 에너지 분산형 X-선(EDX) 분석이 필요할 때 사용됩니다. X-선 피크가 다른 원소의 피크와 충돌하지 않으므로 시료의 원소 구성을 정확하게 분석할 수 있습니다.
3. 텅스텐, 이리듐 및 크롬
텅스텐, 이리듐, 크롬은 스퍼터 코팅에 사용되는 최신 재료입니다. 이러한 금속은 금보다 입자 크기가 훨씬 더 미세하여 얻은 이미지의 해상도와 선명도를 향상시킵니다. 초고해상도 이미징이 필요할 때 특히 유용합니다.
4. 플래티넘, 팔라듐, 실버
백금, 팔라듐, 은도 스퍼터 코팅에 사용됩니다. 은은 가역성이라는 장점이 있어 시료 손상 없이 코팅을 제거하거나 변경해야 하는 특정 실험 설정에서 특히 유용할 수 있습니다.
5. 산화 알루미늄, 산화 이트륨, 인듐 주석 산화물(ITO), 산화 티타늄, 질화 탄탈륨 및 가돌리늄
알루미늄 산화물, 이트륨 산화물, 인듐 주석 산화물(ITO), 산화 티타늄, 질화 탄탈륨, 가돌리늄은 스퍼터 코팅에 사용되는 다른 재료입니다. 이러한 재료는 내화학성, 전기 전도성 및 광학적 특성과 같은 특정 특성 때문에 선택됩니다. 예를 들어, ITO는 투명성과 전도성 때문에 전자 디스플레이에 이상적으로 사용됩니다.
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