금 스퍼터 코팅의 두께는 일반적으로 SEM 애플리케이션의 경우 2~20nm 범위입니다. 이 초박막 코팅은 비전도성 또는 저전도성 시편에 적용되어 이차 전자의 방출을 증가시켜 전하를 방지하고 신호 대 잡음비를 향상시킵니다.
자세한 설명:
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목적 및 적용:
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금 스퍼터 코팅은 주로 주사 전자 현미경(SEM)에서 비전도성 또는 전도성이 낮은 시료를 코팅하는 데 사용됩니다. 이 코팅은 이미징 프로세스를 방해할 수 있는 시료에 정전기가 축적되는 것을 방지하기 때문에 필수적입니다. 또한 금속 코팅은 시료 표면에서 이차 전자의 방출을 증가시켜 SEM으로 캡처한 이미지의 가시성과 선명도를 향상시킵니다.두께 범위:
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- 참조 자료에 따르면 SEM용 스퍼터링된 금막의 일반적인 두께는 2 ~ 20nm입니다. 이 범위는 코팅이 시편의 미세한 디테일을 가리지 않을 정도로 얇으면서도 적절한 전기 전도도와 이차 전자 방출을 제공할 수 있을 만큼 충분히 두껍도록 하기 위해 선택됩니다.
- 구체적인 예와 기법:
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한 예로, SC7640 스퍼터 코터를 사용하여 6인치 웨이퍼를 3nm의 금/팔라듐(Au/Pd)으로 코팅했습니다. 사용된 설정은 아르곤 가스와 0.004bar의 진공에서 800V 및 12mA였습니다. 이 코팅은 전체 웨이퍼에 걸쳐 균일한 것으로 나타났습니다.또 다른 예는 SC7640 스퍼터 코터를 사용하여 탄소 코팅된 Formvar 필름에 2nm 백금 필름을 증착하는 것입니다. 설정은 아르곤 가스와 0.004bar의 진공에서 800V 및 10mA로 이루어졌습니다.
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기술 세부 사항 및 공식:
Au/Pd 코팅의 두께는 다음 공식을 사용하여 계산할 수 있습니다:
[ Th = 7.5 I t ]입니다.
