실리콘 카바이드는 실제로 부식에 강합니다.
이러한 특성은 화학적 및 물리적 안정성이 뛰어나기 때문입니다.
따라서 탄화규소는 부식성이 강한 가스나 액체로 가득 찬 환경에서 사용하기에 이상적인 소재입니다.
화학적 안정성
실리콘 카바이드는 다양한 부식성 물질에 대한 높은 내성을 나타냅니다.
유기물, 산, 알칼리, 염분이 포함된 환경에서도 분해되지 않고 견딜 수 있는 것으로 유명합니다.
이는 화력발전소 및 대형 보일러의 탈황 노즐에 사용되는 경우 특히 두드러집니다.
이러한 애플리케이션에서 이 소재는 부식성이 강한 가스와 액체에 노출됩니다.
이러한 가혹한 조건에서 소재의 내구성은 내식성을 강조합니다.
물리적 안정성
실리콘 카바이드는 내화학성 외에도 부식성 환경에서도 물리적 안정성을 보여줍니다.
화학 산업에서 마그네틱 펌프와 캔 펌프의 부품에 사용되는 실리콘 카바이드는 부식성 조건에서 구조적 무결성과 성능을 유지하는 능력이 뛰어납니다.
이는 미세한 미세 구조와 비다공성 특성으로 뒷받침됩니다.
이러한 특징은 물리적 열화에 대한 전반적인 저항성에 기여합니다.
반도체 공정에서의 적용
부품이 고에너지 플라즈마에 노출되는 반도체 공정에서 실리콘 카바이드(특히 CVD 실리콘 카바이드)는 열화 및 에칭에 대한 탁월한 저항성을 보여줍니다.
불소, 염소, 브롬 기반 플라즈마는 물론 산과 염기에 대한 노출도 견딜 수 있습니다.
이러한 저항성은 서셉터, 가스 분배판, 척과 같은 구성 요소의 치수 정확도와 성능을 유지하는 데 매우 중요합니다.
열 안정성
실리콘 카바이드의 열적 특성은 내식성에도 기여합니다.
높은 열전도율과 열충격 저항성으로 인해 급격한 온도 변화에서도 안정성을 유지할 수 있습니다.
이는 부식성 환경에서는 종종 어려운 문제입니다.
이러한 열 안정성은 열 응력 하에서 재료가 깨지거나 성능이 저하되지 않도록 합니다.
그렇지 않으면 부식에 대한 취약성이 높아질 수 있습니다.
요약하면, 탄화규소의 내식성은 탄화규소의 종합적인 특성에서 비롯된 것입니다.
여기에는 화학적 및 물리적 안정성, 열충격 저항성, 열악한 환경에서의 내구성 등이 포함됩니다.
이러한 특성 덕분에 부식성 물질에 대한 노출이 불가피한 수많은 산업 분야에서 선호되는 소재입니다.
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