스퍼터링 타겟은 일반적으로 순수 금속, 합금 또는 산화물이나 질화물과 같은 화합물로 만들어집니다. 이러한 재료는 전도도, 경도 또는 광학적 특성과 같은 특정 특성을 가진 박막을 생성할 수 있는 능력 때문에 선택됩니다.
순수 금속: 순수 금속 스퍼터링 타겟은 박막에 단일 금속 원소가 필요한 경우에 사용됩니다. 예를 들어, 구리 또는 알루미늄 타겟은 반도체에 전도성 층을 만드는 데 사용될 수 있습니다. 이러한 타겟은 높은 화학적 순도를 보장하며 전도성이 중요한 애플리케이션에 자주 사용됩니다.
합금: 합금은 두 가지 이상의 금속이 혼합된 것으로, 박막에 여러 금속의 특성이 필요할 때 사용됩니다. 예를 들어, 금과 팔라듐의 합금은 두 금속의 특성이 모두 유용한 특정 전자 부품의 생산에 사용될 수 있습니다. 합금은 박막에서 특정 전기적, 열적 또는 기계적 특성을 달성하도록 맞춤화할 수 있습니다.
화합물: 산화물(예: 이산화티타늄) 또는 질화물(예: 질화규소)과 같은 화합물은 박막에 절연성이나 경도와 같은 비금속 특성이 필요할 때 사용됩니다. 이러한 재료는 박막이 고온을 견뎌야 하거나 마모로부터 보호해야 하는 응용 분야에 자주 사용됩니다.
스퍼터링 타겟 재료의 선택은 박막의 원하는 특성과 특정 응용 분야에 따라 달라집니다. 예를 들어 반도체 생산에서는 일반적으로 금속 합금을 사용하여 전도성 층을 형성하는 반면, 공구용 내구성 코팅을 생산할 때는 세라믹 질화물과 같은 단단한 소재를 선호할 수 있습니다.
스퍼터링 공정에는 기체 이온을 사용하여 고체 대상 물질을 작은 입자로 분해하여 스프레이를 형성한 다음 기판을 코팅하는 과정이 포함됩니다. 이 기술은 재현성과 공정 자동화 기능으로 잘 알려져 있어 전자 및 광학 등 다양한 산업에서 박막 증착에 널리 사용되고 있습니다.
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