플라즈마 활성화 화학 기상 증착(PACVD)은 플라즈마에 의해 시작된 화학 반응을 통해 기판 위에 박막을 증착하는 데 사용되는 기술입니다. 이 방법은 플라즈마의 영향을 받아 반응하는 기체 전구체 물질을 사용하여 작업물 표면에 박막을 형성합니다. 이러한 화학 반응에 필요한 에너지는 플라즈마에서 생성된 고에너지 전자에 의해 제공되며, 이로 인해 공작물의 온도가 적당히 상승합니다.
자세한 설명:
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PACVD의 메커니즘:
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PACVD에서 공정은 진공 챔버에 기체 전구체를 도입하는 것으로 시작됩니다. 이 챔버 내부에는 두 개의 평면 전극이 있으며, 그 중 하나는 무선 주파수(RF) 전원 공급 장치에 연결됩니다. RF 전력은 전극 사이에 플라즈마를 생성하여 가스 분자에 에너지를 공급하고 화학 반응을 시작합니다. 이러한 반응은 챔버 내에 배치된 기판 위에 박막을 증착시킵니다. 플라즈마를 사용하면 기존의 화학 기상 증착(CVD)에 비해 낮은 온도에서 증착 공정을 진행할 수 있으므로 온도에 민감한 기판에 적합합니다.PACVD의 유형:
- PACVD는 사용되는 플라즈마의 주파수에 따라 더 세분화할 수 있습니다:
- 무선 주파수 강화 플라즈마 화학 기상 증착(RF-PECVD): 이 방법은 용량성 결합(CCP) 또는 유도 결합(ICP)을 통해 생성된 RF 플라즈마를 사용합니다. CCP는 일반적으로 이온화 속도가 낮고 전구체 해리 효율이 떨어지는 반면, ICP는 플라즈마 밀도가 높아 증착 효율을 향상시킬 수 있습니다.
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초고주파 플라즈마 화학 기상 증착(VHF-PECVD): 이 방식은 초고주파 플라즈마를 사용하여 증착 공정의 효율성을 더욱 향상시킬 수 있습니다.
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적용 분야 및 장점:
PACVD는 반도체 제조 및 기타 산업에서 마모와 부식에 강하고 마찰 계수가 낮은 박막을 증착하기 위해 널리 사용됩니다. 저온에서 필름을 증착할 수 있다는 점은 고온을 견딜 수 없는 섬세한 기판에 특히 유용합니다. 또한 PACVD는 물리적 기상 증착(PVD)과 결합하여 복잡한 레이어 아키텍처를 생성하고 뛰어난 기계적 특성으로 잘 알려진 다이아몬드 유사 탄소(DLC)와 같은 레이어의 도핑을 용이하게 할 수 있습니다.
프로세스 개요:
