확산 펌프는 고진공 환경이 필요한 산업에서 필수적인 도구입니다.
이 펌프는 주로 움직이는 부품이 없기 때문에 내구성과 신뢰성이 뛰어난 것으로 알려져 있습니다.
10^-2~10^-10 토르의 진공 범위에서 효율적으로 작동합니다.
4가지 주요 산업 살펴보기
1. 전자빔 현미경
확산 펌프는 전자빔 현미경 검사에서 매우 중요합니다.
잔류 가스에 의한 전자빔의 산란을 방지하려면 고진공 조건이 필요합니다.
고진공은 전자빔이 방해받지 않고 이동할 수 있도록 보장하여 샘플의 고해상도 이미징을 가능하게 합니다.
2. 진공 증착 및 코팅
진공 증착에서는 진공 환경에서 재료를 기화시킨 다음 기판 위에 증착하여 박막을 형성합니다.
필요한 고진공을 생성하고 유지하기 위해 확산 펌프가 사용됩니다.
이를 통해 기화된 입자가 기체 분자의 간섭 없이 기판으로 직접 이동하여 고품질의 균일한 코팅이 이루어집니다.
3. 진공로
진공로에서는 공기가 있는 상태에서 발생할 수 있는 산화 및 기타 화학 반응을 방지하기 위해 재료를 진공 상태에서 가열합니다.
확산 펌프는 이러한 퍼니스를 필요한 진공 수준으로 배출하는 데 사용됩니다.
이를 통해 재료는 통제된 불활성 환경에서 가열되며, 이는 어닐링, 브레이징 및 소결과 같은 공정에 특히 중요합니다.
4. 유지보수 및 운영 고려 사항
확산 펌프의 유지보수는 비교적 간단합니다.
적절한 수준의 오일을 유지하고 히터의 작동 상태를 확인하는 데 중점을 둡니다.
성능을 극대화하고 유지보수 필요성을 최소화하기 위해 고품질 오일을 사용하는 것이 강조됩니다.
확산 펌프의 작동 원리는 끓는 유체의 증기를 사용하여 공기 분자를 포집한 다음 이동 및 냉각하여 공기 분자를 방출하여 고진공 환경을 조성하는 것입니다.
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