기술팀 · Kintek Solution

RF 스퍼터링은 효율적이고 고품질의 박막 증착을 보장하기 위해 몇 가지 주요 파라미터가 포함된 특수 코팅 공정입니다.

4가지 핵심 요소 설명

전원 및 전압

RF 스퍼터링은 AC 전원을 사용합니다.

이 전원은 13.56MHz의 특정 주파수에서 작동합니다.

이 주파수는 대상 재료에 전하가 쌓이는 것을 방지하는 데 도움이 됩니다.

피크 대 피크 전압은 1000V로 설정됩니다.

이 전압은 플라즈마를 유지하고 효율적인 스퍼터링을 보장하는 데 필수적입니다.

전자 밀도 및 챔버 압력

RF 스퍼터링의 전자 밀도는 10^9 ~ 10^11 cm^-3 범위입니다.

이러한 밀도는 가스의 이온화와 스퍼터링 공정의 전반적인 효율에 영향을 미칩니다.

챔버 압력은 0.5 ~ 10 mTorr 사이에서 설정됩니다.

이 낮은 압력은 이온화된 가스 충돌을 줄이고 증착 공정의 효율을 향상시킵니다.

낮은 압력 환경은 보다 균일하고 제어된 증착을 달성하는 데 도움이 됩니다.재료 적합성 및 증착 속도