확산 진공 펌프는 움직이는 부품 없이 작동하는 진공 펌프의 한 유형으로, 끓는 유체의 증기를 활용하여 챔버에서 공기 분자를 포집하고 제거함으로써 10^-2 ~ 10^-10 토르의 고진공 수준을 달성합니다. 이 유형의 펌프는 피스톤이나 핀과 같은 물리적 메커니즘을 사용하여 공기를 치환하는 기계식 펌프와 구별됩니다. 확산 펌프는 작동 유체의 증기가 공기 분자를 가두는 역할을 하는 유체 포집 펌프로 분류되며, 이 펌프는 공기 분자를 다른 위치로 향하게 하고 냉각시켜 다른 위치에서 공기 분자를 방출합니다. 이 공정은 전자빔 현미경, 진공 증착, 코팅, 진공로 등 다양한 산업 분야에서 매우 중요합니다.
확산 진공 펌프의 작동에는 유지 펌프를 사용하여 포드라인의 압력을 낮게 유지하여 펌프 오일이 챔버로 역류하지 않도록 하는 것이 포함됩니다. 이는 진공 밸브의 적절한 시퀀싱과 결합된 자동 및 연동 진공 펌프다운을 통해 이루어집니다. 펌프의 설계와 작동은 진공 환경의 무결성을 유지하는 데 필수적인 펌프 유체에 의한 진공 챔버의 오염을 방지하도록 최적화되어 있습니다.
진공 시스템에서 확산 펌프는 원하는 진공 수준을 달성하기 위해 기계식 또는 회전 날개 펌프와 같은 다른 유형의 펌프와 함께 사용되는 경우가 많습니다. 기계식 펌프는 일반적으로 대기압에서 중간 수준으로 초기 펌프다운하는 데 사용되며, 확산 펌프는 기계식 펌프만으로는 생성할 수 있는 압력보다 낮은 압력을 달성하는 데 사용됩니다. 이러한 펌프 조합은 깨끗하고 안정적인 진공 환경을 유지하는 것이 중요한 진공로 및 기타 고진공 애플리케이션에서 흔히 사용됩니다.
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