확산 진공 펌프는 움직이는 부품 없이 작동하는 진공 펌프의 한 유형입니다.
이 펌프는 끓는 유체의 증기를 사용하여 챔버에서 공기 분자를 포집하고 제거합니다.
따라서 10^-2에서 10^-10 토르에 이르는 높은 진공 수준을 달성할 수 있습니다.
확산 펌프는 피스톤이나 핀과 같은 물리적 메커니즘을 사용하여 공기를 치환하는 기계식 펌프와는 다릅니다.
이러한 펌프는 유체 유입 펌프로 분류됩니다.
이 유형의 펌프에서는 작동 유체의 증기가 공기 분자를 포획하는 역할을 합니다.
그런 다음 공기 분자는 다른 위치로 이동하고 냉각되어 다른 위치로 방출됩니다.
이 프로세스는 전자빔 현미경, 진공 증착, 코팅 및 진공로와 같은 다양한 산업 응용 분야에서 매우 중요합니다.
이해해야 할 5가지 핵심 사항
1. 부품을 움직이지 않고 작동
확산 진공 펌프는 움직이는 부품 없이 작동합니다.
이는 물리적 메커니즘에 의존하는 기계식 펌프와 큰 차이점입니다.
2. 끓는 유체 증기 사용
이 펌프는 끓는 유체의 증기를 사용하여 공기 분자를 포집하고 제거합니다.
이 방법을 사용하면 높은 진공 수준을 달성할 수 있습니다.
3. 유체 유입 프로세스
작동 유체의 증기가 공기 분자를 포획합니다.
그런 다음 이 분자들은 다른 위치로 이동 및 냉각되어 다른 위치로 방출됩니다.
4. 산업 응용 분야에서 중요
확산 펌프는 다양한 산업 응용 분야에서 필수적입니다.
여기에는 전자빔 현미경, 진공 증착, 코팅, 진공 용광로 등이 포함됩니다.
5. 다른 펌프와의 조합
진공 시스템에서 디퓨전 펌프는 다른 유형의 펌프와 함께 사용되는 경우가 많습니다.
일반적으로 초기 펌프다운에는 기계식 또는 로터리 베인 펌프가 사용됩니다.
디퓨전 펌프는 기계식 펌프만으로 생성할 수 있는 압력보다 낮은 압력을 달성하기 위해 사용됩니다.
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