XRF 분석 범위는 최소 약 1nm의 검출 두께에서 최대 약 50µm까지입니다. 1nm 이하에서는 노이즈에 의해 특징적인 X선이 가려지고, 50µm 이상에서는 두께가 포화되어 추가 X선이 검출기에 도달하지 못합니다.
자세한 설명:
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최소 감지 두께(1nm): 1nm 이하의 두께에서는 분석 대상 물질에서 방출되는 특징적인 X선이 노이즈 신호에 잠겨 검출할 수 없습니다. 이러한 제한은 XRF 기술의 기본적인 감도와 검출 과정에 내재된 배경 잡음으로 인해 발생합니다.
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최대 검출 두께(50 µm): 재료의 두께가 50 µm를 초과하면 재료의 내부 층에서 방출되는 X선이 외부 층을 투과하여 검출기에 도달할 수 없습니다. 이로 인해 포화 효과가 발생하여 이 지점 이상으로 두께를 늘려도 추가로 감지할 수 있는 엑스레이가 나오지 않습니다. 이는 X-선이 상부 물질에 흡수되거나 산란되어 검출기에 도달하지 못하므로 더 이상의 두께 변화를 측정할 수 없기 때문입니다.
이러한 한계는 재료 두께 측면에서 XRF 분석의 실제 범위를 정의하며, 이 경계 내에서 정확하고 신뢰할 수 있는 측정을 위해 기술이 효과적임을 보장합니다.
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