확산 진공 펌프는 흔히 오일이라고 하는 유체를 기화 및 응축하여 진공 챔버에서 가스 분자를 포집하고 추출하는 방식으로 작동합니다. 이 프로세스는 높은 진공 수준을 달성하는 데 도움이 됩니다. 펌프는 움직이는 부품 없이 작동하며, 유체의 특성과 펌프의 설계에 의존하여 진공을 생성하고 유지합니다.
5가지 주요 단계 설명
1. 유체 가열
작동은 히터를 사용하여 확산 펌프 오일을 가열하는 것으로 시작됩니다. 이 가열은 오일을 끓는 온도까지 가열하는 방식으로 이루어집니다. 오일의 기화는 펌프 작동에 필요한 증기 흐름을 생성하기 때문에 매우 중요합니다.
2. 증기 압축 및 제트 작용
상승하는 오일 증기는 높이에 따라 제트 구멍이 있는 수직으로 가늘어지는 스택에서 압축됩니다. 이 제트는 우산과 같은 증기 흐름을 만들기 위해 각도가 조절됩니다. 이 증기 흐름은 진공 챔버에서 공기 분자를 효과적으로 포집하도록 설계되었습니다.
3. 기체 분자의 포집 및 이송
각진 제트는 진공 챔버에서 기체 분자를 쓸어 올리는 방식으로 증기 흐름을 유도합니다. 고속 증기 흐름은 증기와 기체 분자 사이의 운동량 전달로 인해 이러한 분자를 진공 챔버에서 멀리 떨어진 아래쪽으로 운반합니다.
4. 응축 및 방출
펌프 외부의 냉각 응축 코일은 오일 증기의 응축을 촉진합니다. 증기가 냉각되고 응축되면 포집된 가스 분자가 펌프 바닥 근처로 방출됩니다. 이 프로세스는 오일을 다시 시스템으로 재활용할 뿐만 아니라 진공 챔버에서 가스 분자를 지속적으로 제거할 수 있도록 합니다.
5. 진공 유지 관리
펌프의 상단(진공 챔버에 연결)과 하단 사이의 차압은 챔버의 고진공을 끌어내리는 데 도움이 됩니다. 이 차압은 펌프 내의 기화, 포집 및 응축 공정의 지속적인 작동에 의해 유지됩니다.
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