스퍼터링은 증착된 필름의 조성을 원료와 유사하게 유지하는 능력, 우수한 스텝 커버리지, 강한 접착력으로 균일한 필름을 증착할 수 있는 능력으로 인해 합금 증착에 더욱 유용합니다.
원재료와 유사한 조성 유지:
스퍼터링은 증착된 필름의 농도가 원재료의 농도와 거의 일치하도록 보장합니다. 이는 합금의 특성이 박막에 보존되도록 보장하기 때문에 합금 증착에 특히 중요합니다. 증착 수율이 종의 원자량에 따라 달라져 합금 성분이 다른 속도로 증착되고 증착된 필름의 농도가 달라질 수 있는 다른 방법과 달리, 스퍼터링은 이러한 차이를 보완합니다. 표면 현상인 이 공정은 나머지 구성 요소의 원자로 표면을 풍부하게 하여 스퍼터링 속도의 차이를 효과적으로 균형을 맞춥니다. 그 결과 원래의 합금 타겟과 비슷한 농도의 필름이 생성됩니다.뛰어난 스텝 커버리지:
스퍼터링은 복잡한 지형을 가진 기판에 박막을 증착할 때 매우 중요한 우수한 스텝 커버리지를 제공합니다. 스퍼터링의 높은 공정 압력은 분자의 평균 자유 경로를 짧게 만들어 스퍼터링된 원자의 대기 중 산란을 유발합니다. 이러한 산란은 공정의 이방성을 증가시켜 원자가 계단이나 기타 불규칙한 부분을 포함하여 기판에 보다 균일하게 증착될 수 있도록 합니다. 이는 합금 증착에 특히 유용하며, 합금 필름이 기판 전체에 균일하게 증착되어 합금의 구성과 특성의 무결성을 유지할 수 있도록 합니다.
강력한 접착력을 갖춘 균일한 필름:
