분석 장비 액세서리 및 소모품

실험실용 관상로 및 반도체 공정용 고순도 석영 리듀서 어댑터, 융용 석영 레듀싱 튜브

품목 번호 : KT-SYG

가격은 다음을 기준으로 달라집니다 사양 및 사용자 정의

Material Composition: 고순도 융기 석영 (SiO2 ≥ 99.99%)
Operating Temperature: 연속 1100°C / 단기 최고 1250°C
Thermal Shock Resistance: 1100°C에서 20°C로 수냉 시 파손 없음

배송:

문의하기 배송 세부 정보를 얻으려면 즐기세요 정시 배송 보장.

설명
다운로드

사양 보기 맞춤 견적 요청👋

문의

채팅 사양 보기

왜 저희를 선택해야 할까요

간편한 주문 프로세스, 품질 좋은 제품, 그리고 귀하의 비즈니스 성공을 위한 전담 지원.

간편한 프로세스 품질 보장 전담 지원

제품 개요

Product image 1

Product image 4

고순도 융용 석영 레듀싱 튜브는 고온 전기로, 진공 네트워크, 공정 배관 등에서 직경이 다른 튜브를 연결하도록 설계된 정밀 트랜지션 커플링 역할을 합니다. 이산화규소 함량이 99.99%를 상회하는 정제된 융용 실리카로 제작된 이 부품은 뛰어난 열적 복원력, 광학적 투명성, 화학적 불활성을 제공하여 사각지대나 구조적 파손 없이 안정적인 부피 유량 전환을 보장합니다.

반도체 제조, 화학 기상 증착(CVD), 태양광 연구, 분석용 파이로화학 실험실 등에서 널리 사용되는 이 어댑터는 1차 용광로 챔버와 가스 공급 매니폴드, 배기 스크러버, 진공 피팅을 상호 연결합니다. 열화나 오염 위험으로 인해 엘라스토머 또는 금속 커플링을 사용할 수 없는 가혹한 열 시스템에서 기하학적 인터페이스 불일치를 제거합니다.

1100°C에서의 연속 작동과 최대 1250°C의 일시적인 피크 온도용으로 설계된 이 부품은 열팽창 계수가 매우 낮아, 공격적인 용광로 사이클 중 급격한 열충격에 대해 완벽한 내성을 발휘합니다. 균일한 벽 두께, 정밀한 동심도, 완전한 퍼니스 어닐링을 통해 엄격한 진공 및 양압 조건에서도 장기적인 기계적 강도를 보장합니다.

주요 특징

초고순도 소재: SiO2 순도가 99.99%를 초과하고 총 금속 미량 불순물이 20ppm 미만인 프리미엄 융용 실리카로만 제작되어 초청정 반도체, 태양전지, 박막 증착 공정에서 기판 오염 위험을 제로화합니다.
우수한 내열충격성: 상온에서 1000°C에 걸쳐 5.5 × 10⁻⁷ /°C의 초저열팽창 계수를 보유하여, 미세 균열이나 파손 없이 극심한 온도 구배에 직접 노출되거나 1100°C에서 즉각적인 수냉(water quenching)이 가능합니다.
정밀 선반 성형 형상: 컴퓨터 동기화 석영 가공 유리 선반을 사용하여 제작되어 메이저 및 마이너 보어 섹션 전반에 걸쳐 엄격한 동심도, 부드러운 테이퍼 전환, 균일한 벽 두께를 유지하므로 국부적인 열 응력과 난류 가스 재순환을 방지합니다.
광범위한 화학적 불활성: 끓는점에서의 진한 질산, 황산, 염산을 비롯한 부식성 산뿐만 아니라 건조 할로겐 및 휘발성 전구체 증기에 대해 거의 완전한 내성을 보여 까다로운 화학 환경에서 공정 화학의 무결성을 보호합니다.
고온 구조적 강성: 1100°C의 연속 작동 조건과 최대 1250°C의 간헐적 피크 온도에서 뛰어난 기계적 안정성을 유지하며, 깊은 부압 체제 하에서 처짐, 연화 또는 진공 내함(implosion)에 저항합니다.
광학적 투명성 및 공정 가시성: 260 nm ~ 2500 nm의 자외선, 가시광선, 근적외선 스펙트럼 전반에 걸쳐 높은 스펙트럼 투과율을 제공하여, 열 공정 중 플라즈마 방전, 전구체 흐름, 증기 응축 영역을 선명하게 육안으로 모니터링할 수 있습니다.
맞춤형 단부 마감 및 조인트 인터페이스: 정밀 화염 연마 플레인 엔드, 표준 연마 테이퍼 조인트, 구형 볼 앤 소켓 커플링 또는 비드형 퀵 플랜지 프로파일을 포함한 다양한 연결 구성으로 설계되어 다양한 장치 레이아웃에 완벽하게 통합됩니다.
제어된 용광로 어닐링: 기계적 드로잉 및 고온 테이퍼링 중에 발생한 잔류 내부 응력을 제거하기 위해 다단 프로그래밍 사이클 어닐링을 거치며, 광학 편광기 테스트를 통해 서비스 중 안정적인 물리적 내구성을 보장합니다.

응용 분야

응용 분야	설명	주요 이점
반도체 확산 및 산화	고온 확산 용광로 내에서 대구경 공정 튜브를 소형 반응성 가스 공급 인젝터 또는 포라인 진공 플랜지에 연결합니다.	금속 오염을 방지하고 초청정 대기 밀봉을 유지하며, 결정화(devitrification) 없이 연속 1100°C 공정 사이클을 견뎌냅니다.
화학 기상 증착 (CVD / PECVD)	수평 또는 수직 튜브 시스템에서 반응물질 공급 도관을 주 진공 증착 챔버에 연결하는 주요 가스 유량 리듀서 역할을 합니다.	부드러운 테이퍼 형상을 통해 난류 재순환 영역을 제거하여 층류(laminar) 전구체 흐름과 균일한 박막 성장을 보장합니다.
고진공 배기 및 포라인 트랜지션	고진공 설정에서 오버사이즈 공정 챔버를 표준 진공 펌핑 라인, 콜드 트랩 및 진단 압력 센서와 연결합니다.	초고진공 조건에서 무시할 수 있는 가스 방출(outgassing) 속도를 제공하는 동시에 구조적 좌굴 없이 깊은 진공 차압을 유지합니다.
부식성 가스 스크러빙 및 통풍 라인	염소, 불소 화합물 또는 산성 부산물을 포함하는 부식성 유출수 스트림을 응축 트랩 및 중화탑에 인터페이스합니다.	고온 배기 온도에서 산성 미스트와 할로겐에 대해 비침투성이므로 조기 커플링 부식 및 치명적인 배기 누출을 방지합니다.
실험실 관상로 보어 축소	대형 용광로 가열 튜브와 표준화된 실험실 유리 기구 또는 분석용 프로브 삽입 포트 간의 치수 변환을 용이하게 합니다.	연구원이 비용이 많이 드는 맞춤형 용광로 엔드 캡 가공 없이 기존 용광로 튜브 직경을 모듈식 장치에 맞게 조정할 수 있습니다.
태양광 실리콘 웨이퍼 공정	태양전지 이미터 확산 반응기에서 옥시염화인(phosphorus oxychloride) 또는 삼브롬화붕소(boron tribromide) 도펀트 증기 공급을 위한 트랜지션 덕트 역할을 합니다.	공격적인 도펀트 캐리어 증기 부식에 저항하는 동시에 높은 캐리어 수명 효율에 중요한 극도의 화학적 순도를 보존합니다.
파이로화학 및 열 분석	고온 연소 보트 또는 반응 튜브를 질량 분석기, 광학 가스 분석기 및 응축기 코일에 직접 결합합니다.	샘플 흡착, 촉매 부반응 또는 민감한 분석 평가 중 신호 왜곡을 방지하는 불활성 흐름 경로를 제공합니다.
광섬유 프리폼 증착 (MCVD)	섬유 코어를 위한 변형 화학 기상 증착(modified chemical vapor deposition) 중 회전하는 석영 시작 튜브를 화학 공급 매니폴드 및 배기 송풍기에 연결합니다.	프리폼 축을 따라 이동하는 강렬한 산소-수소 화염 하에서 높은 회전 동심도와 기계적 강도를 보장합니다.

기술 사양

표준 치수 변형

제품 모델	주요 외경 (OD1)	보조 외경 (OD2)	벽 두께 (W)	테이퍼 길이 (L1)	전체 길이 (L)	전환 형상
KT-SYG-2515	25 mm (±0.3 mm)	15 mm (±0.3 mm)	2.0 mm (±0.2 mm)	30 mm	150 mm	동심 (Concentric)
KT-SYG-3825	38 mm (±0.5 mm)	25 mm (±0.3 mm)	2.5 mm (±0.3 mm)	40 mm	180 mm	동심 (Concentric)
KT-SYG-5025	50 mm (±0.5 mm)	25 mm (±0.3 mm)	3.0 mm (±0.3 mm)	50 mm	200 mm	동심 (Concentric)
KT-SYG-6040	60 mm (±0.5 mm)	40 mm (±0.5 mm)	3.0 mm (±0.3 mm)	50 mm	220 mm	동심 (Concentric)
KT-SYG-8050	80 mm (±0.8 mm)	50 mm (±0.5 mm)	3.5 mm (±0.3 mm)	60 mm	250 mm	동심 (Concentric)
KT-SYG-10060	100 mm (±0.8 mm)	60 mm (±0.5 mm)	4.0 mm (±0.4 mm)	80 mm	300 mm	동심 (Concentric)
KT-SYG-12080	120 mm (±1.0 mm)	80 mm (±0.8 mm)	4.5 mm (±0.4 mm)	90 mm	320 mm	동심 (Concentric)
KT-SYG-150100	150 mm (±1.2 mm)	100 mm (±0.8 mm)	5.0 mm (±0.5 mm)	100 mm	350 mm	동심 (Concentric)
KT-SYG-5025E	50 mm (±0.5 mm)	25 mm (±0.3 mm)	3.0 mm (±0.3 mm)	55 mm	200 mm	편심 평저 (Eccentric Flat-Bottom)
KT-SYG-8050E	80 mm (±0.8 mm)	50 mm (±0.5 mm)	3.5 mm (±0.3 mm)	65 mm	250 mm	편심 평저 (Eccentric Flat-Bottom)
KT-SYG-10060E	100 mm (±0.8 mm)	60 mm (±0.5 mm)	4.0 mm (±0.4 mm)	85 mm	300 mm	편심 평저 (Eccentric Flat-Bottom)
KT-SYG-CUSTOM	10 mm – 450 mm	5 mm – 350 mm	1.5 mm – 10.0 mm	맞춤 정의	50 mm – 1200 mm	동심 / 편심 (Concentric / Eccentric)

소재 물리적 및 열적 특성

매개변수	테스트 표준 / 단위	값 / 특성
화학 성분	분광법	고순도 융용 석영 (SiO2 ≥ 99.99%)
소재 밀도	아르키메데스 / g/cm³	2.20 g/cm³
연속 작동 온도	사용 중 열 한계	1100°C
최대 단기 작동 한계	피크 온도 임계값	1250°C
연화점 (Softening Point)	ASTM C338	1730°C
어닐링점 (Annealing Point)	ASTM C336	1180°C
변형점 (Strain Point)	ASTM C336	1120°C
열팽창 계수 (CTE)	팽창계측법 (20°C – 1000°C)	5.5 × 10⁻⁷ /°C
내열충격성	수냉 테스트	파손 없이 1100°C에서 20°C로
열전도율	20°C / W/(m·K)	1.4 W/(m·K)
인장 강도	기계 테스트 / MPa	48 MPa
압축 강도	기계 테스트 / MPa	1100 MPa
영률 (탄성 계수)	음향 공명 / GPa	72 GPa
푸아송 비	기계적 / 무차원	0.17
유전율	25°C에서 1 MHz	3.75
굴절률 (nD)	광학 나트륨 D-라인 (589.3 nm)	1.4585
광학 투과율	260 nm – 2500 nm 분광법	> 90%

일반적인 화학적 미량 불순물 프로필

원소	기호	농도 (중량 기준 ppm)
알루미늄	Al	12.0 – 16.0
철	Fe	0.2 – 0.6
칼슘	Ca	0.4 – 0.9
마그네슘	Mg	0.1 – 0.4
나트륨	Na	0.5 – 1.2
칼륨	K	0.4 – 0.8
리튬	Li	0.2 – 0.5
구리	Cu	< 0.05
총 금속 불순물	총 금속 함량	< 20.0 ppm

단부 마감 및 피팅 옵션

마감 스타일	사용 가능한 표준	일반적인 응용 분야 연결
화염 연마 플레인 엔드	표준 매끄러운 절단 및 화염 글레이징	울트라-토르(Ultra-Torr) 피팅, 압축 오링 씰, 퍼니스 엔드 플랜지
연마 유리 테이퍼 조인트	표준 테이퍼 ST 14/23, 19/26, 24/29, 29/32, 45/40	폴리머 어댑터가 필요 없는 직접 상호 교환 가능한 유리 기구 연결
구형 볼 앤 소켓 조인트	세미 볼 조인트 S13, S19, S28, S35, S50	각도 조절 라인, 응력이 없는 열팽창 조인트
비드형 퀵 플랜지 엔드	오링 클램프용 석영 비드형 엔드	진공 파이프 클램프 커플링, 고순도 포라인 매니폴드
융용 석영 플랜지	볼트 구멍 또는 슬롯형 모서리가 있는 연마된 평면	금속 진공 어셈블리 또는 반응기 뷰포트에 직접 볼트 체결

이 제품을 선택해야 하는 이유

정밀 선반 고온 성형 기술: 첨단 자동 유리 가공 선반이 원뿔형 전환 영역의 벽 두께 감소를 제어하여, 수동으로 드로잉된 레듀서에서 흔히 발생하는 구조적 얇은 부위와 불균일한 열 응력을 제거합니다.
타협 없는 화학적 및 매트릭스 순도: 20 ppm 미만의 누적 금속 불순물을 포함하는 정제된 전기 용융 석영만을 엄격하게 조달하여, 민감한 웨이퍼 공정, 촉매 층 및 CVD 박막 증착을 원소 간 교차 오염으로부터 보호합니다.
검증된 무응력 어닐링: 모든 제품은 자동 용광로 램프 어닐링과 포괄적인 편광판 응력 검사를 거쳐 잔류 기계적 장력이 전혀 없고 열충격에 대한 완전한 복원력을 보장합니다.
동심 및 편심 레이아웃 엔지니어링: 대칭적인 유체 역학을 위한 표준 동심 형상과 수평 배기 및 회귀 라인에서 액체 응축물 고임을 제거하는 평저 편심 구성 모두로 제공됩니다.
포괄적인 치수 맞춤화: 맞춤형 직경 비율, 고유한 전환 각도, 연장된 레그 길이, 전용 공정 툴 및 기존 관상로에 직접 일치하는 맞춤형 종단 플랜지를 설계합니다.

지금 기술 엔지니어링 팀에 연락하여 치수 사양을 검토하고, 맞춤형 유리 불기(glassblowing) 솔루션을 논의하거나, 즉시 배송을 위한 경쟁력 있는 견적을 받아보세요.