스퍼터링 타겟은 일반적으로 타겟 재료의 특성과 용도에 따라 다양한 제조 공정을 통해 만들어집니다. 이러한 공정에는 진공 용융 및 주조, 열간 압착, 냉간 압착 및 소결, 특수 프레스 소결 공정이 포함됩니다. 공정 선택은 스퍼터링 타겟의 품질과 성능에 영향을 미치므로 매우 중요합니다.
진공 용융 및 주조: 이 공정은 오염을 방지하기 위해 진공 상태에서 원료를 용융한 다음 용융된 재료를 원하는 모양으로 주조하는 과정입니다. 이 방법은 반응성이 있거나 녹는점이 높은 재료에 특히 유용합니다. 진공 환경은 재료가 순수하고 스퍼터링 공정에 영향을 줄 수 있는 불순물이 없는 상태를 유지하도록 보장합니다.
소결을 통한 열간 압착 및 냉간 압착: 이 방법은 각각 고온 또는 저온에서 분말 재료를 압축한 후 소결 공정을 거칩니다. 소결은 압축된 재료를 녹는점 이하의 온도로 가열하여 입자가 서로 결합하여 고체 조각을 형성하는 과정입니다. 이 기술은 주조 또는 용융하기 어려운 재료로 조밀하고 강력한 타겟을 만드는 데 효과적입니다.
특수 프레스 소결 공정: 이 방법은 프레스 및 소결 방법의 변형으로, 프레스 및 소결 조건을 정밀하게 제어해야 하는 특정 재료에 맞게 조정됩니다. 이 공정을 통해 대상 재료가 효과적인 스퍼터링에 필요한 특성을 갖도록 보장합니다.
모양과 크기의 제작: 스퍼터링 타겟은 다양한 모양과 크기로 제작할 수 있으며, 일반적인 모양은 원형 또는 직사각형입니다. 그러나 단일 조각의 크기에는 제한이 있으며, 이러한 경우 여러 세그먼트 타겟을 제작합니다. 이러한 세그먼트는 버트 조인트 또는 베벨 조인트를 사용하여 서로 결합되어 스퍼터링을 위한 연속적인 표면을 형성합니다.
품질 관리: 각 생산 로트는 타겟이 최고 품질 표준을 충족하는지 확인하기 위해 엄격한 분석 프로세스를 거칩니다. 각 배송에는 재료의 특성과 조성을 자세히 설명하는 분석 인증서가 제공됩니다.
실리콘 스퍼터링 타겟: 실리콘 잉곳에서 스퍼터링하여 제작되며 전기 도금, 스퍼터링 및 기상 증착과 같은 공정을 사용하여 제조할 수 있습니다. 원하는 표면 조건을 달성하기 위해 추가적인 세척 및 에칭 공정이 종종 사용되어 타겟의 반사율이 높고 거칠기가 500앵크롬 미만인 타겟을 만들 수 있습니다.
전반적으로 스퍼터링 타겟의 제조는 재료의 특성과 용도에 따라 적절한 제조 방법을 신중하게 선택해야 하는 복잡한 공정입니다. 목표는 순수하고 밀도가 높으며 정확한 모양과 크기의 타겟을 생산하여 박막의 효과적인 스퍼터링과 증착을 용이하게 하는 것입니다.
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