스퍼터링 타겟은 다양한 과학 및 산업 응용 분야에서 필수적인 구성 요소입니다.
타겟의 제조 공정은 복잡하며 타겟 재료의 특성과 용도에 따라 달라집니다.
다음은 스퍼터링 타겟 제작에 관련된 7가지 주요 공정입니다:
1. 진공 용융 및 주조
이 공정에서는 오염을 방지하기 위해 진공 상태에서 원료를 용융합니다.
그런 다음 용융된 재료를 원하는 모양으로 주조합니다.
이 방법은 녹는점이 높은 재료나 반응성이 있는 재료에 이상적입니다.
진공 환경은 재료가 순수하고 불순물이 없는 상태를 유지하도록 보장합니다.
2. 소결을 통한 핫 프레싱 및 냉간 프레싱
열간 압착은 분말 재료를 고온에서 압착한 후 소결하는 방식입니다.
냉간 압착은 저온에서 압착한 후 소결하는 방식입니다.
소결은 압착된 재료를 녹는점 이하로 가열하여 입자가 결합하여 고체 조각을 형성합니다.
이 기술은 주조하기 어려운 재료로 조밀하고 강력한 타겟을 만드는 데 효과적입니다.
3. 특수 프레스 소결 공정
이 방식은 프레스와 소결 방식의 맞춤형 변형입니다.
프레스 및 소결 조건에 대한 정밀한 제어가 필요한 재료를 위해 설계되었습니다.
이 공정은 대상 소재가 효과적인 스퍼터링에 필요한 특성을 갖도록 보장합니다.
4. 형상 및 크기 제작
스퍼터링 타겟은 원형 또는 직사각형과 같은 다양한 모양으로 제작할 수 있습니다.
그러나 단일 조각의 크기에는 제한이 있습니다.
이러한 경우 다중 세그먼트 타겟을 제작합니다.
이러한 세그먼트는 맞대기 또는 비스듬한 조인트를 사용하여 서로 결합되어 스퍼터링을 위한 연속적인 표면을 형성합니다.
5. 품질 관리
각 생산 로트는 엄격한 분석 프로세스를 거칩니다.
이를 통해 타겟이 최고 품질 기준을 충족하도록 보장합니다.
재료의 특성과 조성을 자세히 설명하는 분석 증명서가 각 배송과 함께 제공됩니다.
6. 실리콘 스퍼터링 타겟
실리콘 잉곳에서 스퍼터링하여 제작합니다.
제조 공정에는 전기 도금, 스퍼터링 및 기상 증착이 포함됩니다.
원하는 표면 조건을 달성하기 위해 추가적인 세척 및 에칭 공정이 종종 사용됩니다.
이를 통해 타겟의 반사율이 높고 거칠기가 500 옹스트롬 미만인 타겟을 만들 수 있습니다.
7. 전체 제조 공정
스퍼터링 타겟의 제조는 복잡한 공정입니다.
재료의 특성과 용도에 따라 적절한 제조 방법을 신중하게 선택해야 합니다.
목표는 순수하고 밀도가 높으며 정확한 모양과 크기의 타겟을 생산하여 박막의 효과적인 스퍼터링과 증착을 용이하게 하는 것입니다.
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