진공 압력은 저진공부터 초고진공까지 다양한 범위의 진공에서 작동하도록 설계된 특수 게이지를 사용하여 측정합니다.
진공 압력 측정은 진공 시스템의 적절한 기능을 보장하고 진공 챔버 내에서 원하는 조건을 유지하는 데 매우 중요합니다.
4가지 필수 기술 설명
1. 압력 게이지
측정하는 진공 범위에 따라 다양한 유형의 압력 게이지가 사용됩니다.
예를 들어, 저진공/고진공 범위(1000~1 mbar)에서는 부르동 튜브 또는 다이어프램 게이지와 같은 기계식 게이지를 사용할 수 있습니다.
이러한 게이지는 압력 변화에 따른 기계적 변형 원리로 작동합니다.
2. 열전도도 게이지
미세/중간 진공 범위(1~10^-3 mbar)에 적합한 이 게이지는 압력 변화에 따른 기체의 열전도도 변화를 측정합니다.
피라니 게이지가 일반적인 유형으로, 가스 압력 변화에 따라 열선의 저항이 변화하여 열선의 열 손실에 영향을 미칩니다.
3. 이온화 게이지
고진공 및 초고진공 범위(10^-3~10^-11 mbar)에 사용됩니다.
가스 분자를 이온화하여 생성되는 전류를 측정하는 방식으로 작동하며, 이는 가스 밀도와 압력에 비례합니다.
베이야드-알퍼트 게이지와 핫 캐소드 이온화 게이지가 그 예입니다.
4. 자기 서스펜션 게이지
극고진공(< 10^-11 mbar)의 경우 자기 서스펜션 게이지는 주변 기체 압력의 영향을 받는 자기장에 작은 구체를 매달아 두는 데 필요한 힘을 측정합니다.
정확성 및 신뢰성
게이지의 선택은 필요한 진공 수준과 특정 응용 분야에 따라 달라집니다.
예를 들어 진공 증착 시스템에서는 대기압 수준에서 최대 10^-9 Torr의 압력을 표시할 수 있는 전체 범위 압력 게이지가 사용됩니다.
이를 통해 박막 증착의 품질에 중요한 증착 환경을 정확하게 모니터링할 수 있습니다.
진공 시스템과의 통합
진공 게이지는 일반적으로 밸브 및 기타 구성 요소와 함께 진공 시스템에 통합됩니다.
게이지는 챔버 내부 압력에 대한 실시간 피드백을 제공하여 작업자가 원하는 진공 수준을 달성하고 유지하는 데 필요한 진공 펌프 설정 또는 기타 파라미터를 조정할 수 있도록 합니다.
결론
진공 압력 측정은 다양한 산업 및 연구 분야에서 진공 시스템을 관리하는 데 있어 매우 중요한 요소입니다.
적절한 게이지를 선택하면 진공로, 입자 가속기, 박막 증착 시스템과 같은 공정의 성공에 필수적인 진공 레벨을 정확하게 유지할 수 있습니다.
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