XRF(X-선 형광법)는 재료의 원소 구성을 분석하기 위해 X-선 형광 분광기를 사용하는 방법입니다. 이는 1차 X-선을 사용하여 물질 내의 원자를 여기시킨 다음 존재하는 원소의 특징인 2차 X-선(형광)을 방출함으로써 이루어집니다. 분석은 원소를 식별하는 정성적 분석 또는 원소의 농도를 결정하는 정량적 분석이 가능합니다. XRF 방법은 방출된 X선이 분산되어 검출되는 방식에 따라 파장 분산과 에너지 분산으로 분류됩니다.
1. 파장 분산 XRF(WDXRF):
이 방법은 결정 분광기를 사용하여 형광 X선을 파장별로 분리합니다. 각 원소는 특정 파장에서 X-선을 방출하며, 이를 감지하고 분석하여 시료에 존재하는 원소를 식별합니다. WDXRF는 높은 해상도와 감도를 제공하므로 상세한 원소 분석에 적합합니다.2. 에너지 분산 XRF(EDXRF):
이 방법에서는 반도체 검출기를 사용하여 형광 엑스레이의 에너지를 직접 측정합니다. 이를 통해 움직이는 부품 없이 여러 원소를 동시에 검출할 수 있어 분석의 속도와 단순성이 향상됩니다. EDXRF는 휴대성이 뛰어나고 다용도로 사용할 수 있어 현장 적용 및 신속한 스크리닝에 이상적입니다.
3. 휴대용 XRF 분석기:
이러한 장치는 휴대용으로 이동성과 자율성을 제공하여 실험실 설정 없이도 현장에서 실시간 분석이 가능합니다. 금속 재활용, 환경 모니터링, 제조 품질 관리와 같이 즉각적인 결과가 중요한 산업에서 특히 유용합니다.4. XRF의 기술 발전:
최근 베릴륨, 붕소, 탄소, 질소, 산소와 같은 가벼운 원소를 포함하도록 검출 범위를 확장한 다층 필름 결정의 개발 등 다양한 발전이 이루어졌습니다. X-선 튜브 파워, 콜리메이션 및 검출기 기술의 개선으로 최신 XRF 분광기의 감도 및 검출 한계도 향상되었습니다.
5. 샘플 준비: