진공 시스템에서 누출의 중요성은 다음과 같이 요약할 수 있습니다:
1. 작업자 및 제품 안전: 진공 시스템에서 누출이 발생하면 유독성 가스나 유체가 유출되어 작업자 안전에 위험을 초래할 수 있습니다. 또한 공기가 시스템으로 유입되어 폭발성 혼합물이 형성될 수 있습니다. 안전한 작업 환경을 유지하고 처리되는 제품의 무결성을 보호하려면 누출이 없는 진공 시스템을 보장하는 것이 중요합니다.
2. 압력/진공 유지보수: 진공 시스템에서 누출이 발생하면 압력이 크게 증가하거나 진공 수준이 감소할 수 있습니다. 공기나 물이 조금만 누출되어도 진공 펌프에 무리가 가고 원하는 압력/진공 조건이 손상될 수 있습니다. 조인트, 용접, 씰, 밸브, 펌프 및 용기 자체를 포함한 전체 진공 시스템에 적절한 주의를 기울여 누출을 감지하고 해결해야 합니다.
3. 유지보수 영향: 유지보수 활동을 수행할 때는 진공 시스템의 무결성에 미치는 영향을 고려해야 합니다. 허용할 수 없는 누출률 문제를 해결하려면 마지막으로 수행한 유지보수까지 문제를 추적해야 하는 경우가 많습니다. 씰, 브레이즈 조인트 및 기타 영역의 누출은 적절한 작동 진공 수준을 유지하는 능력과 최종 제품의 품질에 악영향을 미칠 수 있습니다. 또한 누출을 찾아서 수정하는 것은 시간이 많이 걸리고 세심한 작업이 될 수 있습니다.
4. 예방적 유지보수: 이전 누출을 추적하고 임시방편으로 사용된 임시 밀봉 컴파운드를 교체하는 것은 좋은 예방적 유지보수 프로그램을 위해 필수적입니다. 이를 통해 향후 문제를 최소화하고 진공 시스템의 장기적인 효과를 보장할 수 있습니다.
5. 누출률 테스트: 진공 게이지 수치가 항상 진공로 내부의 실제 상태를 정확하게 나타내는 것은 아닙니다. 동일한 압력에서 작동하는 두 개의 동일한 퍼니스는 누출 기밀성 또는 누출률의 차이로 인해 서로 다른 열처리 결과를 생성할 수 있습니다. 퍼니스 제조업체의 규정대로 정기적인 누출률 점검을 수행하면 공기 누출로 인한 문제를 예방하고 일관되고 원하는 열처리 결과를 보장할 수 있습니다.
6. 초고진공 고려 사항: 초고진공 시스템에서는 특이한 누출 경로 및 탈기체 발생원과 같은 추가 요인을 고려해야 합니다. 특정 물질의 수분 흡수, 금속의 흡수성, 오일 및 그리스의 비등, 진공실 벽의 다공성, 금속 플랜지의 입자 방향 등이 그 예입니다. 이러한 고려 사항은 원하는 진공 수준을 유지하고 성능 문제를 방지하는 데 필요합니다.
7. 진공 챔버의 치수 측정: 진공 챔버 내 반도체 장치의 성능은 진공 레벨에 직접적인 영향을 받습니다. 공기 누출은 증착, 에칭, 스퍼터링 및 기타 공정에 필요한 화학 반응을 방해하여 공정 실패로 이어질 수 있습니다. 누출을 방지하려면 끝면과 밀봉 표면의 평탄성 보장, 기밀성 테스트, 불활성 가스를 사용한 퍼징과 같은 세심한 조치가 중요합니다. 제조 과정에서 형상과 치수를 엄격하게 측정하는 것은 누출이 없는 진공 챔버를 만드는 데 매우 중요한 역할을 합니다.
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