2단계 진공 펌프는 초고진공(UHV) 수준을 달성하도록 설계되었습니다.
이러한 수준은 일반적으로 약 100나노파스칼(10-7파스칼, 10-9mbar, ~10-9토르)보다 낮은 압력이 특징입니다.
이 유형의 펌프는 진공 성능을 향상시키기 위해 이중 단계 메커니즘을 사용합니다.
2단계 진공 펌프의 압력 및 성능에 대한 4가지 주요 인사이트
1. 2단계 메커니즘
2단계 진공 펌프는 두 세트의 로터와 베인으로 구성되어 있습니다.
고진공 단계로 알려진 첫 번째 단계는 공정 가스를 흡입합니다.
이 단계에서는 처음에 압력을 낮은 수준으로 낮춥니다.
그런 다음 가스는 저진공 단계인 두 번째 단계로 전달됩니다.
여기서 가스는 대기압에 가까운 압력으로 더 압축됩니다.
이 이중 단계 프로세스는 단일 단계 펌프에 비해 전반적인 진공 성능을 크게 향상시킵니다.
2. 향상된 진공 수준
2단계 진공 펌프의 가장 큰 장점은 더 나은 진공 성능으로 더 깊은 압력 레벨을 달성할 수 있다는 점입니다.
이는 고순도 및 최소한의 가스 오염이 요구되는 산업 분야에서 매우 중요합니다.
2단계 설계로 가스를 더 효율적으로 제거할 수 있어 더 깨끗하고 안정적인 진공 환경을 조성할 수 있습니다.
3. 산업 환경에서의 적용
산업 환경에서 2단계 진공 펌프는 초고진공 응용 분야의 엄격한 요구 사항을 처리할 수 있는 능력 때문에 선호되는 경우가 많습니다.
특히 반도체 제조와 같이 매우 낮은 수준의 잔류 가스를 필요로 하는 공정에서 유용합니다.
미량의 오염 물질도 제품 품질에 영향을 미칠 수 있습니다.
4. 운영 효율성
2단계 진공 펌프의 운영 효율은 설계를 통해 향상됩니다.
여기에는 저진공 펌핑을 위한 건식 펌프와 고진공 펌핑을 위한 분자 펌프가 포함됩니다.
이 조합은 오일 오염의 위험을 줄일 뿐만 아니라 수증기와 같은 특정 가스의 제거를 개선합니다.
이는 진공 환경의 무결성을 유지하는 데 매우 중요합니다.
요약하면, 2단계 진공 펌프는 초고진공 수준을 달성하고 유지하도록 설계되었습니다.
따라서 고진공 성능이 중요한 산업에서 필수적인 도구입니다.
2단계 설계와 효율적인 가스 제거 기능은 단일 단계 펌프와 차별화됩니다.
따라서 압력 감소 및 가스 순도 측면에서 탁월한 성능을 제공합니다.
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