DLC 코팅의 일반적인 증착 온도는 200°C 미만입니다. 특히 HEF의 특정 증착 기술을 사용하면 약 170°C에서 DLC 코팅을 증착할 수 있습니다. DLC 필름은 다양한 광학 및 전기적 특성을 가진 탄소 필름을 증착할 수 있는 고주파 플라즈마 보조 화학 기상 증착(RF PECVD) 방법을 사용하여 증착할 수 있습니다. 이 필름은 다양한 기판에 대한 접착력이 우수하고 비교적 낮은 온도에서도 증착이 가능합니다. 그러나 다결정 다이아몬드로 알려진 고함량 sp3 탄소 필름은 일반적으로 고온 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 생산됩니다. 다이아몬드와 유사한 탄소 필름(DLC)은 다양한 형태로 약 300°C의 더 낮은 온도에서도 적절한 결합층을 사용하여 높은 접착 강도로 증착할 수 있습니다. 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD)을 사용하여 단단하고 긁힘에 강하며 우수한 차단 특성을 가진 DLC 코팅을 생산할 수도 있습니다. PECVD는 낮은 온도, 화학적 안정성, 적은 독성 부산물, 빠른 처리 시간, 높은 증착률과 같은 이점을 제공합니다. 전반적으로 DLC 코팅은 특정 증착 방법과 원하는 특성에 따라 다양한 온도에서 증착할 수 있습니다.
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