SEM(주사 전자 현미경)은 주로 비전도성 시료에 금을 코팅해야 전하를 방지하고 신호 대 잡음비를 향상시켜 이미지 품질을 개선할 수 있습니다. 자세한 설명은 다음과 같습니다:
충전 방지:
비전도성 물질은 SEM에서 전자 빔에 노출되면 정전기장을 축적하여 샘플이 충전될 수 있습니다. 이러한 충전은 전자 빔을 편향시켜 이미지를 왜곡하고 샘플을 손상시킬 수 있습니다. 금과 같은 전도성 물질로 샘플을 코팅하면 이러한 전하를 분산시켜 샘플이 전자빔 아래에서 안정적으로 유지되도록 합니다.신호 대 잡음비 향상:
- 금은 많은 비전도성 물질에 비해 이차 전자 수율이 높습니다. 비전도성 샘플을 금으로 코팅하면 방출되는 이차 전자가 증가하여 SEM이 감지하는 신호가 향상됩니다. 배경 노이즈에 비해 신호 강도가 증가하면 더 선명하고 세밀한 이미지를 얻을 수 있습니다. 금의 얇은 층(일반적으로 2~20nm)은 샘플의 표면 특징을 크게 변경하지 않고 이미징 기능을 극적으로 개선하기에 충분합니다.실용적인 고려 사항:
- 코팅 두께 및 입자 크기: 금 코팅의 두께와 샘플 재료와의 상호 작용은 코팅의 입자 크기에 영향을 미칩니다. 예를 들어, 금 또는 은의 경우 표준 조건에서 5-10nm의 입자 크기를 예상할 수 있습니다.
- 균일성 및 커버리지: 스퍼터 코팅 기술은 넓은 영역에 걸쳐 균일한 두께를 얻을 수 있으며, 이는 샘플 전체에서 일관된 이미징을 위해 매우 중요합니다.
EDX 분석을 위한 재료 선택:
- 샘플에 에너지 분산형 X-선(EDX) 분석이 필요한 경우 스펙트럼 중첩을 피하기 위해 샘플의 원소 구성을 방해하지 않는 코팅 재료를 선택하는 것이 중요합니다.스퍼터 코팅의 단점:
- 장비 복잡성: 스퍼터 코팅에는 복잡하고 비용이 많이 드는 특수 장비가 필요합니다.
- 증착 속도: 공정이 상대적으로 느릴 수 있습니다.
온도 효과:
기판에 고온이 발생할 수 있으며, 이는 특정 시료에 해로울 수 있습니다.
