스퍼터링 타겟은 재료의 특성과 용도에 따라 다양한 제조 공정을 통해 만들어집니다. 일반적인 방법으로는 진공 용융 및 주조, 열간 압착, 냉간 압착 및 소결, 특수 프레스 소결 공정 등이 있습니다. 이러한 공정을 통해 박막 제작을 위한 스퍼터 증착에 사용되는 고품질의 화학적으로 순수하고 야금학적으로 균일한 타겟을 생산할 수 있습니다.
제조 공정:
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진공 용융 및 주조: 이 공정은 오염을 방지하기 위해 진공 상태에서 원료를 녹인 다음 원하는 모양으로 주조하는 과정을 포함합니다. 이 방법은 고순도가 필요한 재료에 특히 효과적입니다.
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소결을 통한 열간 압착 및 냉간 압착: 이 방법은 분말 재료를 고온 또는 상온에서 압착한 후 소결하여 입자를 서로 결합하는 방식입니다. 핫 프레싱은 일반적으로 더 높은 밀도와 더 나은 기계적 특성을 달성합니다.
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특수 프레스 소결 공정: 최적의 밀도 및 결합을 위해 고유한 조건이 필요한 특정 재료를 위한 맞춤형 공정입니다.
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진공 핫 프레싱: 핫 프레싱과 유사하지만 순도를 높이고 산화를 방지하기 위해 진공 상태에서 진행됩니다.
모양과 크기:
스퍼터링 타겟은 일반적으로 원형 또는 직사각형 등 다양한 모양과 크기로 제작할 수 있습니다. 그러나 기술적 한계로 인해 여러 세그먼트로 분할된 타겟을 생산해야 할 수 있으며, 이 타겟은 맞대기 또는 경사진 조인트를 사용하여 결합됩니다.품질 보증:
각 생산 로트는 고품질 표준 준수를 보장하기 위해 엄격한 분석 프로세스를 거칩니다. 각 배송에는 재료의 특성과 순도를 보증하는 분석 증명서가 함께 제공됩니다.
박막 증착에 적용:
스퍼터링 타겟은 반도체, 태양 전지 및 광학 부품과 같은 응용 분야를 위한 박막을 생산하는 데 사용되는 기술인 스퍼터 증착에서 매우 중요합니다. 순수한 금속, 합금 또는 화합물로 만들어진 타겟은 기체 이온으로 충격을 받아 입자가 방출되고 기판에 증착되어 박막을 형성합니다.
재활용:
