석영 튜브는 상당한 양의 압력을 견딜 수 있습니다.
표면 품질이 좋은 용융 석영의 설계 인장 강도는 4.8 x 10^7 Pa(7,000 psi) 이상입니다.
즉, 쿼츠 튜브는 최대 4.8 x 10^7 Pa 또는 7,000 psi의 압력을 파손이나 고장 없이 견딜 수 있습니다.
5가지 주요 인사이트
1. 설계 인장 강도
표면 품질이 좋은 용융 석영의 설계 인장 강도는 4.8 x 10^7 Pa(7,000 psi) 이상입니다.
2. LPCVD 용광로 시스템
앞서 언급한 LPCVD 퍼니스 시스템의 경우, 작동 압력은 45,000psi(310MPa)로 지정되어 있습니다.
이는 이 시스템에 사용되는 석영 튜브가 최대 45,000psi의 압력을 문제 없이 처리하도록 설계되었음을 나타냅니다.
3. 진공 챔버 압력
앞서 언급한 증착 시스템의 진공 챔버는 단시간에 최소 압력에 도달할 수 있는 기능을 갖추고 있습니다.
진공 챔버 내부의 압력은 샘플 커버리지와 증착된 박막의 품질에 결정적인 역할을 합니다.
챔버 내부의 압력을 정확하게 모니터링하기 위해 신뢰할 수 있고 정확한 압력 게이지가 사용됩니다.
앞서 언급한 증착 시스템에 사용되는 압력 게이지는 최대 10^-9 Torr의 대기압 범위에서 압력을 표시할 수 있습니다.
4. 저압의 중요성
시편에 대한 화학적 영향을 방지하기 위해 특정 공정에서 낮은 압력을 유지하는 것이 중요하다는 점도 주목할 가치가 있습니다.
예를 들어, 진공로에서 탄소 대기를 사용하는 경우 시편에 상당한 화학적 영향을 미치지 않도록 압력을 1 또는 2mm 미만으로 유지해야 합니다.
일반적으로 시료를 탄소 증기나 입자로부터 보호하기 위해 한쪽 끝이 닫혀 있고 퍼니스의 차가운 부분에 매달린 내화 도자기 튜브를 사용합니다.
이 튜브는 시편을 통과하는 환원 가스의 관습을 감소시켜 전반적인 환원 작용을 줄이는 데 도움이 됩니다.
5. 비압력 용량
전반적으로 쿼츠 튜브가 견딜 수 있는 비압력은 디자인과 품질에 따라 달라집니다.
언급된 참고 자료에서 석영 튜브는 고압을 견딜 수 있도록 설계되었으며, LPCVD 용광로 시스템의 작동 압력은 45,000psi(310MPa)입니다.
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