SEM용 스퍼터 코팅은 일반적으로 금, 금/팔라듐, 백금, 은, 크롬 또는 이리듐과 같은 초박막 금속 층을 비전도성 또는 저전도성 시편에 도포하는 작업을 포함합니다. 이 코팅의 목적은 시편 충전을 방지하고 이차 전자의 방출을 증가시켜 신호 대 잡음비를 향상시키는 것입니다. 스퍼터링된 필름의 두께는 일반적으로 2~20nm입니다.
자세한 설명:
-
두께 범위: 주사 전자 현미경(SEM)에 사용되는 스퍼터 코팅의 표준 두께는 2 ~ 20nm입니다. 이 범위는 코팅이 시편의 미세한 디테일을 가리지 않을 정도로 얇으면서도 적절한 전기 전도성을 제공하고 충전을 방지할 수 있을 만큼 충분히 두껍도록 하기 위해 선택됩니다.
-
구체적인 예:
- SC7640 스퍼터 코터를 사용하여 6인치 웨이퍼를 3nm의 금/팔라듐으로 코팅하여 정밀 장비로 더 얇은 코팅(3nm까지)을 구현할 수 있음을 보여주었습니다.
- TEM 이미지는 2nm 스퍼터링된 백금 필름을 보여주며 고해상도 이미징에 적합한 매우 얇은 코팅을 생성할 수 있음을 나타냅니다.
-
두께 계산: 간섭 측정 기법을 사용한 실험을 통해 Au/Pd 코팅의 두께를 계산할 수 있는 공식이 마련되었습니다:
-
[Th = 7.5 I t \text{ (옹스트롬)}
-
]여기서 ( Th )는 두께(옹스트롬), ( I )는 전류(mA), ( t )는 시간(분)입니다. 이 공식은 특정 조건(V = 2.5KV, 타겟에서 시료까지의 거리 = 50mm)에서 적용 가능합니다.
코팅 균일성 및 정밀도
: 고진공, 불활성 가스 환경, 필름 두께 모니터 등의 기능을 갖춘 하이엔드 스퍼터 코터는 1nm의 얇은 코팅을 증착할 수 있습니다. 이러한 정밀 도구는 아주 작은 디테일도 중요한 EBSD 분석과 같이 고해상도가 필요한 애플리케이션에 매우 중요합니다.
