SEM용 스퍼터 코팅은 일반적으로 금, 금/팔라듐, 백금, 은, 크롬 또는 이리듐과 같은 초박막 금속 층을 비전도성 또는 저전도성 시편에 도포하는 작업을 포함합니다.
이 코팅의 목적은 시편 충전을 방지하고 이차 전자의 방출을 증가시켜 신호 대 잡음비를 향상시키는 것입니다.
스퍼터링된 필름의 두께는 일반적으로 2~20nm 범위입니다.
스퍼터 코팅 두께에 대한 5가지 주요 인사이트
1. 두께 범위
주사 전자 현미경(SEM)에 사용되는 스퍼터 코팅의 표준 두께는 2 ~ 20nm입니다.
이 범위는 코팅이 시편의 미세한 디테일을 가리지 않을 정도로 얇으면서도 적절한 전기 전도성을 제공하고 충전을 방지할 수 있을 만큼 충분히 두꺼운 것을 보장하기 위해 선택됩니다.
2. 구체적인 예
SC7640 스퍼터 코터를 사용하여 6인치 웨이퍼를 3nm의 금/팔라듐으로 코팅하여 정밀 장비로 더 얇은 코팅(3nm까지)을 구현할 수 있음을 보여주었습니다.
TEM 이미지는 2nm 스퍼터링된 백금 필름을 보여주며 고해상도 이미징에 적합한 매우 얇은 코팅을 생성할 수 있음을 나타냅니다.
3. 두께 계산
간섭 측정 기법을 사용한 실험을 통해 Au/Pd 코팅의 두께를 계산할 수 있는 공식이 제공되었습니다: [ Th = 7.5 I t \text{ (옹스트롬)} ] 여기서 ( Th )는 옹스트롬 단위의 두께, ( I )는 mA 단위의 전류, ( t )는 분 단위의 시간입니다.
이 공식은 특정 조건(V = 2.5KV, 타겟-시편 거리 = 50mm)에서 적용 가능합니다.
4. 코팅 균일성 및 정밀도
고진공, 불활성 가스 환경, 박막 두께 모니터 등의 기능을 갖춘 하이엔드 스퍼터 코터는 1nm의 얇은 코팅을 증착할 수 있습니다.
이러한 정밀 도구는 아주 작은 디테일도 중요한 EBSD 분석과 같이 고해상도가 필요한 애플리케이션에 매우 중요합니다.
5. 코팅 두께가 이미징에 미치는 영향
고해상도(<5nm) 기능을 갖춘 SEM의 경우, 코팅 두께가 10~20nm이면 샘플의 미세한 디테일을 가리기 시작할 수 있습니다.
따라서 샘플 표면 특징의 무결성을 유지하려면 더 얇은 코팅이 선호됩니다.
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