실리콘 카바이드(SiC)는 좋은 전기 절연체가 아니지만, 특정 형태의 실리콘 카바이드, 특히 화학 기상 증착(CVD)으로 생산된 실리콘 카바이드는 전기 저항이 낮아 합리적인 전기 전도체가 될 수 있습니다. 이러한 특성은 특히 벌크 저항이 0.1옴-cm 미만인 '저저항 CVD 실리콘 카바이드'에서 두드러지게 나타납니다.
SiC의 전기 전도성에 대한 설명:
실리콘 카바이드의 전기 전도도는 생산 방법과 처리되는 특정 조건의 영향을 받습니다. 특히 CVD 실리콘 카바이드는 전기 저항이 1옴cm 정도로 매우 낮아 절연체가 아닌 도체로 분류할 수 있습니다. 이러한 낮은 저항은 증착 공정의 고순도와 정밀한 제어 덕분에 전자 흐름을 방해하는 결함과 불순물이 적은 물질을 만들 수 있기 때문입니다.SiC의 전기 전도성의 이점을 누릴 수 있는 애플리케이션:
CVD 실리콘 카바이드의 전도성 특성은 반도체 산업에서 다양한 응용 분야를 열어줍니다. 전기 전도성이 중요한 서셉터, 처리 챔버, 가스 분배판, 정전기 척과 같은 부품에 사용됩니다. 또한 전기를 전도하는 능력 덕분에 정밀 부품을 제작할 때 방전 가공(EDM) 방법을 사용할 수 있으며, 이는 특히 작고 종횡비가 높은 구멍을 생성하는 데 유용합니다.
일반적인 SiC 특성과 대조:
CVD 실리콘 카바이드는 전도성 특성을 나타내지만, 모든 형태의 실리콘 카바이드가 전도성이 있는 것은 아니라는 점에 유의하는 것이 중요합니다. 일반 실리콘 카바이드, 특히 소결형 또는 반응 결합형은 순도 및 미세 구조에 따라 절연 특성을 가질 수 있습니다. 고온에서 공기 중 SiC에 형성되는 보호 실리콘 산화물 층도 절연 특성을 향상시킬 수 있습니다.
