스퍼터 코팅은 기판에 얇은 기능성 코팅을 적용하여 내구성과 균일성을 향상시키는 물리적 기상 증착 공정입니다. 이 공정에는 스퍼터링 음극을 전기적으로 충전하여 플라즈마를 형성하여 대상 표면에서 재료를 방출하는 과정이 포함됩니다. 음극에 부착된 대상 물질은 자석에 의해 균일하게 침식되고 고에너지 입자가 기판에 충돌하여 원자 수준에서 결합합니다. 그 결과 표면 코팅이 아닌 소재가 기판에 영구적으로 통합됩니다.
자세한 설명:
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공정 역학: 스퍼터 코팅 공정은 플라즈마 형성을 시작하는 스퍼터링 음극의 전기 충전으로 시작됩니다. 이 플라즈마는 대상 표면에서 재료를 방출합니다. 대상 물질은 음극에 단단히 부착되고, 자석을 전략적으로 사용하여 물질의 침식이 안정적이고 균일하게 이루어지도록 합니다.
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분자 상호 작용: 분자 수준에서 방출된 표적 물질은 운동량 전달 과정을 통해 기판으로 향합니다. 표적의 고에너지 입자가 기판에 충격을 가하여 재료가 기판 표면으로 이동합니다. 이러한 상호 작용은 원자 수준에서 강력한 결합을 형성하여 코팅 재료를 기판에 효과적으로 통합합니다.
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이점 및 응용 분야: 스퍼터 코팅의 주요 이점은 안정적인 플라즈마를 생성하여 코팅을 균일하게 증착할 수 있다는 것입니다. 이러한 균일성은 코팅의 일관성과 내구성을 높여줍니다. 스퍼터 코팅은 태양광 패널, 건축용 유리, 마이크로 일렉트로닉스, 항공우주, 평면 패널 디스플레이, 자동차 등 다양한 산업에서 널리 사용됩니다.
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스퍼터링의 종류: 스퍼터링 자체는 직류(DC), 무선 주파수(RF), 중주파(MF), 펄스 DC 및 HiPIMS를 포함한 여러 하위 유형이 있는 다목적 공정입니다. 각 유형에는 코팅 및 기판의 요구 사항에 따라 특정 응용 분야가 있습니다.
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SEM 애플리케이션: 주사 전자 현미경(SEM)에서 스퍼터 코팅은 비전도성 또는 저전도성 시편에 초박막의 전기 전도성 금속 코팅을 적용하는 것을 포함합니다. 이 코팅은 정전기장 축적을 방지하고 이차 전자의 검출을 강화하여 신호 대 잡음비를 개선합니다. 이러한 목적으로 사용되는 일반적인 금속에는 금, 금/팔라듐, 백금, 은, 크롬, 이리듐이 있으며, 필름 두께는 일반적으로 2~20nm 범위입니다.
요약하면, 스퍼터 코팅은 다양한 기판에 얇고 내구성이 뛰어나며 균일한 코팅을 증착하여 SEM 샘플 준비를 비롯한 여러 산업 및 응용 분야에서 기능을 향상시키는 데 중요한 기술입니다.
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