SEM에서 스퍼터 코팅은 비전도성 또는 저전도성 시편에 초박막의 전기 전도성 금속 층을 도포하는 작업입니다. 이 과정은 시편 충전을 방지하고 SEM 이미징에서 신호 대 잡음비를 향상시키는 데 매우 중요합니다. 일반적으로 2~20nm 두께의 코팅은 금속 플라즈마를 생성하여 시료에 증착하는 기술을 사용하여 적용됩니다.
자세한 설명:
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스퍼터 코팅의 목적:
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스퍼터 코팅은 주로 SEM에서 시편 충전 문제를 해결하는 데 사용됩니다. 비전도성 물질은 전자빔에 노출되면 정전기장이 축적되어 이미지가 왜곡되고 시료가 손상될 수 있습니다. 금, 백금 또는 그 합금과 같은 전도성 층을 적용하면 전하가 소멸되어 왜곡 없이 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다.기술 및 프로세스:
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스퍼터 코팅 공정은 글로우 방전을 통해 금속 플라즈마를 생성하고, 음극의 이온 충격이 재료를 침식하는 과정을 거칩니다. 그런 다음 스퍼터링된 원자가 샘플에 침착되어 얇은 전도성 필름을 형성합니다. 이 공정은 균일하고 일관된 코팅을 보장하기 위해 세심하게 제어되며, 높은 정밀도와 품질을 유지하기 위해 자동화 장비를 사용하는 경우가 많습니다.
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SEM 이미징의 이점:
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스퍼터 코팅은 전하를 방지하는 것 외에도 샘플 표면에서 이차 전자의 방출을 향상시킵니다. 이차 전자 수율이 증가하면 신호 대 잡음비가 개선되어 더 선명하고 세밀한 이미지를 얻을 수 있습니다. 또한 전도성 코팅은 전자 빔에서 발생하는 열을 전도하여 샘플의 열 손상을 줄이는 데 도움이 될 수 있습니다.사용되는 금속의 종류:
스퍼터 코팅에 사용되는 일반적인 금속에는 금(Au), 금/팔라듐(Au/Pd), 백금(Pt), 은(Ag), 크롬(Cr), 이리듐(Ir)이 있습니다. 금속의 선택은 샘플의 특성 및 SEM 분석의 특정 요구 사항과 같은 요인에 따라 달라집니다.코팅의 두께:
