진공 교정은 진공 압력을 측정하는 데 사용되는 기기가 정확한 측정을 제공하는지 확인하는 과정을 말합니다. 이는 기기가 생성한 측정값을 표준 또는 허용 오차의 측정값과 비교하여 수행됩니다. 진공 압력 측정에서 반복 가능한 정확도를 보장하려면 정기적인 교정이 중요합니다.
진공 작업에 필요한 정밀도를 결정하려면 특정 응용 분야와 진공 제어 요구 사항을 고려해야 합니다. 진공 건조 오븐이나 여과와 같은 특정 응용 분야의 경우 진공 제어가 절대적으로 필요하지 않을 수 있습니다. 그러나 다른 응용 분야에서는 진공 제어가 필요합니다.
진공 보정에는 다양한 구성 요소와 시스템이 포함됩니다. 여기에는 규제 및 제어 패널(안전 PLC 및 소프트웨어 포함), 용광로 및 펌프의 냉각 요구를 충족하는 냉각수 시스템, 정교한 압력 제어 기능이 있는 가스 공급 시스템, 노점 측정을 사용한 가스 순도 측정이 포함됩니다.
측정 정확도 측면에서 조립 전 각 부품과 조립된 진공 챔버의 모양과 치수가 중요합니다. 이러한 측정에는 마이크로미터 단위의 정확도로 3차원 제어가 필요한 경우가 많습니다. 이러한 상황에서는 줄자나 캘리퍼 같은 수공구만으로는 충분하지 않을 수 있으므로 일반적으로 브리지 좌표 측정기(CMM)가 사용됩니다. 그러나 대규모 진공 챔버를 측정실로 이동하여 CMM에 설치하는 것은 어려울 수 있습니다. 현장 측정이 필요할 수도 있으며, 대규모 챔버의 경우 높은 수준의 측정 기술과 여러 사람이 필요할 수 있습니다.
고진공(HV), 초고진공(UHV) 및 극고진공(XHV) 조건에서 작업하려면 시스템 설계와 사용되는 재료를 신중하게 고려해야 합니다. 진공 챔버의 개구부와 조인트의 끝면과 밀봉 표면의 평탄도를 정확하게 측정해야 합니다. 평탄도에 오류가 있으면 누출과 같은 문제가 발생할 수 있으며 진공 챔버의 작동 정확도에 영향을 미칠 수 있습니다. 세심한 검사를 수행하고, 제조 공정 중에 가공 정확도를 측정하고, 측정값을 CAD 설계 데이터와 비교하는 것이 중요합니다.
전반적으로 진공 교정은 정확한 진공 압력 측정을 보장하고, 응용 분야의 특정 진공 제어 요구 사항을 고려하며, 진공 챔버와 구성품의 모양과 치수를 신중하게 측정하는 과정을 포함합니다.
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