DLC(다이아몬드 유사 탄소) 코팅의 화학적 구성은 주로 다이아몬드와 같은 특성을 제공하는 sp3 혼성 탄소 결합이 상당량 함유된 비정질 탄소로 이루어져 있습니다. DLC 코팅은 메탄과 같은 탄화수소 가스가 플라즈마 환경에서 해리되는 플라즈마 보조 화학 기상 증착(PACVD) 또는 무선 주파수 플라즈마 보조 화학 기상 증착(RF PECVD)과 같은 공정을 통해 형성됩니다. 그 결과 탄소와 수소 원자가 기판 표면에서 재결합하여 높은 경도와 내마모성 등 다이아몬드와 유사한 특성을 가진 코팅을 형성합니다.
자세한 설명:
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DLC의 구성:
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DLC 코팅은 주로 탄소로 구성되며, sp2 및 sp3 혼성 결합을 모두 포함하는 구조로 되어 있습니다. 다이아몬드에서 발견되는 것과 유사한 sp3 결합은 코팅에 높은 경도와 내마모성을 부여합니다. sp2와 sp3 결합의 정확한 비율은 증착 공정과 조건에 따라 달라질 수 있으며, 이는 DLC의 특성에 영향을 미칩니다.증착 공정:
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DLC 코팅의 형성은 일반적으로 플라즈마 환경에서 탄화수소 가스의 해리를 포함합니다. RF PECVD 방법에서 가스는 플라즈마에 의해 이온화되고 반응성 종으로 조각화됩니다. 이러한 에너지 종은 기판 표면에서 반응하고 응축되어 탄소가 풍부한 필름을 형성합니다. 이 공정은 비교적 낮은 온도에서 진행되므로 다양한 기질에 잘 접착할 수 있습니다.
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속성 및 응용 분야:
높은 경도(비커스 척도 기준 최대 9000HV), 내마모성, 낮은 마찰 특성으로 인해 DLC 코팅은 엔진 및 기계 어셈블리와 같은 마찰 시스템의 응용 분야에 이상적입니다. 또한 후처리가 필요 없는 우수한 표면 마감을 제공하여 고정밀 공구 및 장식용으로도 적합합니다. 또한 DLC 코팅은 화학적으로 불활성이며 생체 적합성이 있어 의료 부품 및 임플란트에도 사용이 확대되고 있습니다.
오해와 비교:
