지식 SEM에서 스퍼터링 공정이란 무엇인가요? (4가지 핵심 사항 설명)
작성자 아바타

기술팀 · Kintek Solution

업데이트됨 1 month ago

SEM에서 스퍼터링 공정이란 무엇인가요? (4가지 핵심 사항 설명)

SEM의 스퍼터링 공정은 비전도성 또는 저전도성 시편에 전기가 통하는 금속을 초박막으로 코팅하는 과정을 포함합니다.

이 기술은 정전기장의 축적으로 인한 시편의 충전을 방지하는 데 매우 중요합니다.

또한 이차 전자의 검출을 향상시켜 SEM 이미징의 신호 대 잡음비를 개선합니다.

SEM에서 스퍼터링 공정이란 무엇인가요? (4가지 핵심 포인트 설명)

SEM에서 스퍼터링 공정이란 무엇인가요? (4가지 핵심 사항 설명)

1. 스퍼터 코팅의 목적

스퍼터 코팅은 주로 주사 전자 현미경(SEM)을 위한 비전도성 시편을 준비하는 데 사용됩니다.

SEM에서 샘플은 전기 충전을 일으키지 않고 전자의 흐름을 허용하기 위해 전기 전도성이 있어야 합니다.

생물학적 샘플, 세라믹 또는 폴리머와 같은 비전도성 물질은 전자빔에 노출될 때 정전기장을 축적할 수 있습니다.

이로 인해 이미지가 왜곡되고 샘플이 손상될 수 있습니다.

이러한 샘플을 얇은 금속층(일반적으로 금, 금/팔라듐, 백금, 은, 크롬 또는 이리듐)으로 코팅하면 표면이 전도성을 띠게 됩니다.

이렇게 하면 전하 축적을 방지하고 왜곡되지 않은 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다.

2. 스퍼터링 메커니즘

스퍼터링 과정에는 샘플을 밀폐된 챔버인 스퍼터링 기계에 넣는 과정이 포함됩니다.

이 챔버 내부에서는 에너지 입자(일반적으로 이온)가 가속되어 목표 물질(증착할 금속)로 향하게 됩니다.

이 입자의 충격으로 대상 표면에서 원자가 방출됩니다.

이렇게 방출된 원자는 챔버를 통과하여 시료에 증착되어 박막을 형성합니다.

이 방법은 복잡한 3차원 표면을 코팅하는 데 특히 효과적입니다.

따라서 샘플의 형상이 복잡할 수 있는 SEM에 이상적입니다.

3. SEM용 스퍼터 코팅의 이점

충전 방지: 스퍼터 코팅은 표면을 전도성으로 만들어 시료에 전하가 축적되는 것을 방지합니다.

그렇지 않으면 전자빔이 간섭하여 이미지가 왜곡될 수 있습니다.

향상된 신호 대 노이즈 비율: 금속 코팅은 전자 빔에 부딪힐 때 시료 표면에서 이차 전자의 방출을 증가시킵니다.

이차 전자 방출이 증가하면 신호 대 잡음비가 향상되어 SEM 이미지의 품질과 선명도가 향상됩니다.

샘플 무결성 보존: 스퍼터링은 저온 공정입니다.

따라서 열에 민감한 물질에도 열 손상 없이 사용할 수 있습니다.

이는 특히 생물학적 샘플에 중요하며, SEM을 준비하는 동안 자연 상태 그대로 보존할 수 있습니다.

4. 기술 사양

SEM용 스퍼터링 필름의 두께 범위는 일반적으로 2~20nm입니다.

이 얇은 층은 시료의 표면 형태를 크게 변경하지 않고도 전도성을 제공하기에 충분합니다.

따라서 SEM 이미지가 원본 샘플 구조를 정확하게 표현할 수 있습니다.

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